| 產地類別 |
國產 |
應用領域 |
化工,生物產業(yè),能源,電氣,綜合 |
產品優(yōu)勢
1.全封閉式顯影，避免霧氣擴散到外部,，污染環(huán)境,。
2.外殼噴塑,，耐腐蝕,，易清洗,。
3.內腔鍍特氟龍,，光滑,，耐腐蝕，易清洗,。
4.內置真空過濾器,，防止液體吸入真空泵。
5.真空壓力可調,，壓力值實時顯示,。
6.液體流量可調，回吸可調,。
桌面顯影機優(yōu)勢
1.全封閉式顯影,，避免霧氣擴散到外部，污染環(huán)境,。
2.外殼噴塑,，耐腐蝕，易清洗,。
3.內腔鍍特氟龍,，光滑，耐腐蝕,，易清洗,。
4.內置真空過濾器，防止液體吸入真空泵,。
5.真空壓力可調,，壓力值實時顯示。
6.液體流量可調,，回吸可調,。
桌面顯影機參數(shù)
支持wafer尺寸：碎片至200mm(8"圓晶)
1.轉速分辨率：±1 RPM
2.旋涂速度：20-3000rpm(空載)
3.旋涂加速度：10-10,000rpm/sec(空載)
4.工藝時間設定： 0-3,000sec/step，時間設置精度： 0.1sec
5.該機型適用于標準3路顯影機(1路洗衣液,，1路純水,，1路氮氣)
6.單步工藝及多步工藝可選,，內置100組可編輯程序
7.可根據(jù)客戶需求定制四管路顯影機或更大基片的顯影機。
設備配有一路顯影和一路水,、一路氣吹功能,，并且噴嘴位置可程控移動，實現(xiàn)自動顯影和清洗作業(yè),。
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