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江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第4年

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全封閉顯影機(jī)

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)DM200-SE

品       牌LEBO/雷博

廠(chǎng)商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地無(wú)錫市

更新時(shí)間：2025-03-10 15:38:15瀏覽次數(shù)：3214次

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全封閉顯影機(jī)主要用于半導(dǎo)體制造中晶片的顯影工藝，性?xún)r(jià)比高,，穩(wěn)定性好,，重復(fù)性好,，對(duì)顯影作業(yè)有非常理想的效果。設(shè)備配有一路顯影和一路水,、一路氣吹功能,，并且噴嘴位置可程控移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)顯影和清洗作業(yè),。
　　全封閉顯影機(jī)優(yōu)勢(shì)
 
　　·全封閉式顯影,，避免霧氣擴(kuò)散到外部，污染環(huán)境,。
 
　　·外殼噴塑,，耐腐蝕，易清洗,。
 
　　·內(nèi)腔鍍特氟龍,，光滑,，耐腐蝕，易清洗,。
 
　　·內(nèi)置真空過(guò)濾器,，防止液體吸入真空泵。
 
　　·真空壓力可調(diào),，壓力值實(shí)時(shí)顯示,。
 
　　·液體流量可調(diào)，回吸可調(diào),。
 
全封閉顯影機(jī)
全封閉顯影機(jī)參數(shù)
 
　　支持wafer尺寸：碎片至200mm(8"圓晶)
 
　　·轉(zhuǎn)速分辨率：±1 RPM
 
　　·旋涂速度：20-3000rpm(空載)
 
　　·旋涂加速度：10-10,000rpm/sec(空載)
 
　　·工藝時(shí)間設(shè)定： 0-3,000sec/step,，時(shí)間設(shè)置精度： 0.1sec
 
　　·該機(jī)型適用于標(biāo)準(zhǔn)3路顯影機(jī)(1路洗衣液，1路純水,，1路氮?dú)?
 
　　·單步工藝及多步工藝可選,，內(nèi)置100組可編輯程序
 
　　·可根據(jù)客戶(hù)需求定制四管路顯影機(jī)或更大基片的顯影機(jī)。
 
　　設(shè)備配有一路顯影和一路水,、一路氣吹功能,，并且噴嘴位置可程控移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)顯影和清洗作業(yè),。
 

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