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美國honeywell氣體質(zhì)量流量傳感器產(chǎn)品描述：
該傳感器具有基于*微結(jié)構(gòu)技術(shù)的*硅芯片。它由一個薄膜,，熱隔離的橋式結(jié)構(gòu)組成,，該結(jié)構(gòu)包含加熱器和溫度感應(yīng)元件。橋結(jié)構(gòu)能夠快速靈敏地響應(yīng)流過芯片的空氣或其他氣體氣流,。中心加熱元件雙面的雙傳感元件還能指示氣流流過的方向和速率,。
專門設(shè)計的外殼可精地引導(dǎo)和控制穿過微結(jié)構(gòu)傳感元件的氣流。封裝的機(jī)械設(shè)計能夠輕松地將其安裝在印刷電路板上,。
激光微調(diào)的厚膜和薄膜電阻器可在一臺設(shè)備與另一臺設(shè)備之間提供一致的互換性。這些電阻呈現(xiàn)懸浮狀態(tài),，在硅片的刻蝕腔上方形成兩座橋,。微橋氣體質(zhì)量流量傳感器利用包裹在氮化硅薄膜中的熱電阻。
通過蝕刻流量傳感器橋下的空腔空間,，可實現(xiàn)加熱器和感應(yīng)電阻的高效,，熱隔離,。
雙惠斯通電橋控制氣流測量-一個提供閉環(huán)加熱器控制，另一個包含雙重傳感元件,。
加熱器電路將加熱器溫度保持在高于環(huán)境空氣溫度的恒定差（160°C）的恒定差（160°C）處,，該溫度由熱量感測到。芯片上的沉電阻,。裝置的輸出與電源電壓成比例,，也與惠斯通電橋電路的差分電壓相對應(yīng)。
未放大的版本需要加熱器控制電路和感測電橋供電電路才能按照規(guī)范進(jìn)行操作,。差分放大器電路在提供輸出增益和/或向傳感器輸出引入電壓偏移時可能會很有用,。放大版本的板上電路可用于增加輸出增益并引入電壓偏移。（有關(guān)更多電路信息,，請參見產(chǎn)品數(shù)據(jù)表和安裝說明,。）
美國honeywell氣體質(zhì)量流量傳感器技術(shù)規(guī)格：
| 系列名稱 | AWM40000 |
| 流量/壓力范圍 | + 1000 SCCM |
| 整個溫度范圍內(nèi)的零位 | 大±0.025 Vdc |
| 可重復(fù)性 | 大讀數(shù)的±0.50％ |
| 響應(yīng)時間 | 典型值1 ms，短期3 ms |
| 接口類型 | 岐管 |
| 實力 | 大60兆瓦 |
| 補(bǔ)償溫度范圍 | 不適用 |
| 介質(zhì)兼容性 | 僅干燥氣體 |
| 沖擊 | 100 g前端（5次下降,，6軸） |
| 備注 | 氮校準(zhǔn)氣體 |
| UNSPSC商品 | 41111931流量傳感器 |
| 信號調(diào)節(jié) | 放大 |
| 調(diào)整點的輸出電壓 | 1000 SCCM時5 Vdc±0.15 Vdc |
| 輸出溫漂 | -5.0％大讀數(shù) 至+ 6.0％讀數(shù)大值 |
| 零位 | 1伏直流電±0.05伏直流電 |
| 電源電壓 | 小8.000 Vdc,，大15.000 Vdc |
| 共模壓力 | 150磅/平方英寸 |
| 工作溫度 | -25°C至85°C [-13°F至185°F] |
| 儲存溫度 | -40°C至90°C [-40°F至194°F] |
| 重量 | 17.5克[0.62盎司] |
| 貨源 | |
| UNSPSC代碼 | 41111931 |
honeywell傳感器產(chǎn)品特色
精密硅微機(jī)械加工
對0.1 SCCM至6 SLPM的低流量敏感
適用于較高流量
低功耗允許用于便攜式設(shè)備和電池供電的應(yīng)用
模擬輸出
標(biāo)準(zhǔn)的2.54毫米[0.10英寸]安裝中心
激光修正達(dá)到可互換性
準(zhǔn)確檢測低壓
AWM43300V傳感器應(yīng)用領(lǐng)域:
加熱，通風(fēng)和空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)門控制
氣體分析儀
低真空控制
過程控制
醫(yī)用H吸機(jī)和肺活量儀
制氧機(jī)
泄漏檢測儀
通氣罩
麻醉控制
氣體計量
氣相色譜儀
更多產(chǎn)品詳見：honeywell傳感器
