透射電子顯微鏡(Transmission Electron Microscope,簡稱TEM),可以看到在光學顯微鏡下無法看清的小于0.2um的細微結(jié)構(gòu),，這些結(jié)構(gòu)稱為亞顯微結(jié)構(gòu)或超微結(jié)構(gòu),。要想看清這些結(jié)構(gòu),，就必須選擇波長更短的光源,，以提高顯微鏡的分辨率。1932年Ruska發(fā)明了以電子束為光源的透射電子顯微鏡,，電子束的波長要比可見光和紫外光短得多,，并且電子束的波長與發(fā)射電子束的電壓平方根成反比，也就是說電壓越高波長越短,。目前TEM的分辨力可達0.2nm,。

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