目錄:迪卡爾科技（天津）有限公司>>實驗室常用設(shè)備>>探針臺>> XYZ模塊化變溫探針臺
HCP421V-MPS Instec的真空型mini臺式探針臺系列是可從外部移動探針進行點針的桌上型探針臺,，涵蓋多型號,、多溫度范圍,。同時允許溫控、探針電測試,、光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制,。探針臺上蓋與底殼構(gòu)成一個可抽真空的密封腔，亦可內(nèi)充入氮氣等保護氣體,，來防止樣品在負溫下結(jié)霜,，或高溫下氧化。
XYZ模塊化變溫探針臺功能特點
mimi型溫控探針臺,，可集成到各種光學(xué)設(shè)備
可編程控溫,，涵蓋-190℃~400℃
適用10 mm~26 mm晶圓和器件
可抽真空的腔體，亦可充入保護氣體使用
獨立的四個探針,，可從設(shè)備外部移動探針進行點針,
模塊化設(shè)計,，可自由組合
*可升級為8個獨立探針
可從溫控器或電腦軟件控制,，可提供軟件SDK
SMA接頭轉(zhuǎn)BNC四探針，手動點針
XYZ模塊化變溫探針臺溫控參數(shù)
溫度范圍 -190℃~400℃（負溫需配液氮制冷）
加熱塊材質(zhì)銀
傳感器/溫控方式
最大升溫速率100Ω鉑RTD/PID控制（含LVDC降噪電源）
30℃/min
最小溫控速度±0.01℃/min
溫度分辨率0.01℃RTD傳感器
溫度穩(wěn)定性±0.05℃（>25℃）,，±0.1℃（<25℃）
軟件功能 可設(shè)溫控速率,，可設(shè)溫控程序，可記錄溫控曲線
電學(xué)參數(shù)
探針 默認為錸鎢材質(zhì)的彎針探針
探針座可從外部XYZ移動的探針臂
點針從外部移動點針,，每個探針座都可點到樣品區(qū)上任意位置
探針接口默認為SMA接頭轉(zhuǎn)BNC
*可增設(shè)腔內(nèi)接線柱（樣品接電引線）
樣品臺面電位 默認為電接地，可選電懸空（作背電極）,，可選三同軸接口
光學(xué)參數(shù)
適用光路 反射光路
窗片可拆卸與更替的窗片
最小物鏡工作距離8/12 mm（可選）*截面圖中WD
上蓋窗片觀察窗片范圍φ45mm,，最大視角±50°*截面圖中θ1
負溫下窗片除霜 吹氣除霜管路
結(jié)構(gòu)參數(shù)
適用樣品 26 mm直徑（標準）
樣品腔高4/8 mm（可選）
探針座可從外部XYZ移動的探針臂
粗調(diào)模式+微調(diào)模式，XY粗調(diào)20mm
XY微調(diào)行程10mm,Z微調(diào)3mm
調(diào)節(jié)精度10um
氣氛控制真空腔,，也可充入保護氣體
外殼冷卻可通循環(huán)水,，以維持外殼溫度在常溫附近
臺體尺寸/重量 300 mm x 300 mm x 40 mm/4kg
配置列表
基本配置 真空型臺式探針臺、mK2000B溫控器
可選配件 安裝支架,、液氮制冷系統(tǒng),、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)、顯微鏡頭,、防震桌,、真空系統(tǒng)、測試源表,、三同軸BNC,、臺面電懸空、樣品接電引線
典型應(yīng)用
表征薄膜,、二維材料,、納米材料和分子/有機材料器件的電性能測試
需要加熱塊表面電接地、接同軸BNC接口,、三同軸BNC接口的
需要鎢錸探針,、鈹銅探針或其他材料的探針的
需要從外部對臺體內(nèi)探針進行XYZ移動的
晶圓、半導(dǎo)體器件,、集成電路,、印刷電路板、光伏板,、LCD/LED測試
測量IV和CV特性,、擊穿電壓、漏電流,、電阻,、介電常數(shù)和二極管效率
HCP402V-MPS溫度范圍其他可選型號
TP102V-MPS 溫度范圍-40℃~180℃，樣品區(qū),40mm*40mm
HCP421V-MPS溫度范圍-190℃~400℃,，樣品區(qū)
Φ26mm-190℃~400℃,，樣品區(qū)50mm*50mm
HP1000G-MPS溫度范圍35℃~1000℃,，樣品區(qū)25mm*25mm,氣密腔室
定制型號 按客戶需求定制，最大適用300mm晶圓樣品
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