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可在低真空的條件下進行多種觀察

對于容易產(chǎn)生靜電的粉末或含水等樣品,，可結(jié)合其目的進行觀察,。

無需預(yù)處理,，也可以觀察絕緣物和含水,、含油樣品的表面

不僅是觀察傳統(tǒng)的導(dǎo)電性樣品，還可以在無預(yù)處理的條件下觀察絕緣物和含水,、含油樣品,。可快速進行二次電子像與背散射電子像之間的切換,。

高感度低真空二次電子檢測器

采用高感度低真空二次電子檢測器(UVD),。通過檢測由于電子線與殘留氣體分子之間的碰撞而產(chǎn)生的光，可以觀察帶有二次電子信息的圖像,。此外,，通過控制該檢測器，來檢測電子照射所產(chǎn)生的光,，可以獲得CL信息（UVD-CL：帶有CL信息的圖像）,。

高感度低真空二次電子檢測器的檢測原理

通過加速電壓20 kV，實現(xiàn)EDS元素分布圖的高S/N化