掃描電子顯微鏡是一種多功能的儀器,、具有很多*的性能,、是用途廣泛的一種儀器.它可以進(jìn)行如下基本分析：
1、觀察納米材料：其具有很高的分辨率,，可以觀察組成材料的顆?；蛭⒕С叽缭?.1-100nm范圍內(nèi)，在保持表面潔凈的條件下加壓成型而得到的固體材料,。
2,、材料斷口的分析：其景深大,，圖象富立體感，具有三維形態(tài),，能夠從斷口形貌呈現(xiàn)材料斷裂的本質(zhì),，在材料斷裂原因的分析、事故原因的分析以及工藝合理性的判定等方面是一個強有力的手段,。
3,、直接觀察大試樣的原始表面：它能夠直接觀察直徑100mm，高50mm,，或更大尺寸的試樣,，對試樣的形狀沒有任何限制，粗糙表面也能觀察,，這便免除了制備樣品的麻煩,，而且能真實觀察試樣本身物質(zhì)成分不同的襯度(背散射電子象)。
4,、觀察厚試樣：其在觀察厚試樣時,，能得到高的分辨率和*真實的形貌。
5,、觀察試樣的各個區(qū)域的細(xì)節(jié)：試樣在樣品室中可動的范圍非常大,，可以在三度空間內(nèi)有6個自由度運動(即三度空間平移、三度空間旋轉(zhuǎn)),，這對觀察不規(guī)則形狀試樣的各個區(qū)域帶來極大的方便,。
6、在大視場,、低放大倍數(shù)下觀察樣品,，用掃描電鏡觀察試樣的視場大：大視場、低倍數(shù)觀察樣品的形貌對有些領(lǐng)域是很必要的,，如刑事偵察和考古,。
7、進(jìn)行從高倍到低倍的連續(xù)觀察：掃描電鏡的放大倍數(shù)范圍很寬(從5到20萬倍連續(xù)可調(diào)),，且一次聚焦好后即可從高倍到低倍,、從低倍到高倍連續(xù)觀察，不用重新聚焦,，這對進(jìn)行分析特別方便,。
8、觀察生物試樣：由于電子照射面發(fā)生試樣的損傷和污染程度很小,，這一點對觀察一些生物試樣特別重要,。
9、進(jìn)行動態(tài)觀察：如果在樣品室內(nèi)裝有加熱、冷卻,、彎曲,、拉伸和離子刻蝕等附件，則可以觀察相變,、斷烈等動態(tài)的變化過程,。
10、從試樣表面形貌獲得多方面資料：因為掃描電子象不是同時記錄的,，它是分解為近百萬個逐次依此記錄構(gòu)成的,。使得掃描電鏡除了觀察表面形貌外還能進(jìn)行成分和元素的分析，以及通過電子通道花樣進(jìn)行結(jié)晶學(xué)分析,，選區(qū)尺寸可以從10μm到3μm,。
現(xiàn)在掃描電鏡已廣泛用于材料科學(xué)(金屬材料、非金屬材料,、納米材料),、冶金、生物學(xué),、醫(yī)學(xué),、半導(dǎo)體材料與器件、地質(zhì)勘探,、病蟲害的防治,、災(zāi)害(火災(zāi)、失效分析)鑒定,、刑事偵察,、寶石鑒定、工業(yè)生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量鑒定及生產(chǎn)工藝控制等,。
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