掃描電子顯微鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用,。當(dāng)一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時,，被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子,、特征x射線和連續(xù)譜X射線,、背散射電子、透射電子,，以及在可見,、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射,。同時,，也可產(chǎn)生電子-空穴對、晶格振動 (聲子),、電子振蕩 (等離子體),。被廣泛地應(yīng)用于化學(xué)、生物,、醫(yī)學(xué),、冶金、材料,、半導(dǎo)體制造,、微電路檢查等各個研究領(lǐng)域和工業(yè)部門。
關(guān)于掃描電子顯微鏡的15個問題
1. 光學(xué)顯微鏡以可見光為介質(zhì),，電子顯微鏡以電子束為介質(zhì),，由于電子束波長遠(yuǎn)較可見光小，故電子顯微鏡分辨率遠(yuǎn)比光學(xué)顯微鏡高,。光學(xué)顯微鏡放大倍率最高只有約1500倍,，掃描式顯微鏡可放大到10000倍以上。
2. 根據(jù)de Broglie波動理論，電子的波長僅與加速電壓有關(guān)：
λe=h / mv= h / (2qmV)1/2=12.2 / (V)1/2 (Å)
在 10 KV 的加速電壓之下,，電子的波長僅為0.12Å,，遠(yuǎn)低于可見光的4000 - 7000Å，所以電子顯微鏡分辨率自然比光學(xué)顯微鏡*許多,，但是掃描式電子顯微鏡的電子束直徑大多在50-100Å之間,，電子與原子核的彈性散射 (Elastic Scattering) 與非彈性散射 (Inelastic Scattering) 的反應(yīng)體積又會比原有的電子束直徑增大，因此一般穿透式電子顯微鏡的分辨率比掃描式電子顯微鏡高,。
3. 掃描式顯微鏡有一重要特色是具有超大的景深(depth of field),，約為光學(xué)顯微鏡的300倍，使得掃描式顯微鏡比光學(xué)顯微鏡更適合觀察表面起伏程度較大的樣品,。
4. 掃描式電子顯微鏡,，其系統(tǒng)設(shè)計由上而下，由電子槍 (Electron Gun) 發(fā)射電子束,，經(jīng)過一組磁透鏡聚焦 (Condenser Lens) 聚焦后,，用遮蔽孔徑 (Condenser Aperture) 選擇電子束的尺寸(Beam Size)后，通過一組控制電子束的掃描線圈,，再透過物鏡 (Objective Lens) 聚焦,，打在樣品上，在樣品的上側(cè)裝有訊號接收器,，用以擇取二次電子 (Secondary Electron) 或背向散射電子 (Backscattered Electron) 成像,。
5. 電子槍的必要特性是亮度要高、電子能量散布 (Energy Spread) 要小,，目前常用的種類計有三種,，鎢(W)燈絲、六硼化鑭(LaB6)燈絲,、場發(fā)射 (Field Emission),，不同的燈絲在電子源大小、電流量,、電流穩(wěn)定度及電子源壽命等均有差異,。
6. 熱游離方式電子槍有鎢(W)燈絲及六硼化鑭(LaB6)燈絲兩種，它是利用高溫使電子具有足夠的能量去克服電子槍材料的功函數(shù)(work function)能障而逃離,。對發(fā)射電流密度有重大影響的變量是溫度和功函數(shù),，但因操作電子槍時均希望能以至低的溫度來操作，以減少材料的揮發(fā),，所以在操作溫度不提高的狀況下，就需采用低功函數(shù)的材料來提高發(fā)射電流密度,。
7. 價錢便宜使用普遍的是鎢燈絲,，以熱游離 (Thermionization) 式來發(fā)射電子，電子能量散布為 2 eV，鎢的功函數(shù)約為4.5eV,，鎢燈絲系一直徑約100µm,，彎曲成V形的細(xì)線，操作溫度約2700K,，電流密度為1.75A/cm2,，在使用中燈絲的直徑隨著鎢絲的蒸發(fā)變小，使用壽命約為40~80小時,。
8. 六硼化鑭(LaB6)燈絲的功函數(shù)為2.4eV,，較鎢絲為低，因此同樣的電流密度,，使用LaB6只要在1500K即可達到,，而且亮度更高，因此使用壽命便比鎢絲高出許多,，電子能量散布為 1 eV,，比鎢絲要好。但因LaB6在加熱時活性很強,，所以必須在較好的真空環(huán)境下操作,，因此儀器的購置費用較高。
9. 場發(fā)射式電子槍則比鎢燈絲和六硼化鑭燈絲的亮度又分別高出 10 - 100 倍,，同時電子能量散布僅為 0.2 - 0.3 eV,，所以目前市售的高分辨率掃描式電子顯微鏡都采用場發(fā)射式電子槍，其分辨率可高達 1nm 以下,。
10. 場發(fā)射電子槍可細(xì)分成三種:冷場發(fā)射式(cold field emission , FE),，熱場發(fā)射式(thermal field emission ,TF)，及蕭基發(fā)射式(Schottky emission ,SE)
11. 當(dāng)在真空中的金屬表面受到108V/cm大小的電子加速電場時,，會有可觀數(shù)量的電子發(fā)射出來,，此過程叫做場發(fā)射，其原理是高電場使電子的電位障礙產(chǎn)生 Schottky效應(yīng),，亦即使能障寬度變窄,，高度變低，因此電子可直接"穿隧"通過此狹窄能障并離開陰極,。場發(fā)射電子系從很尖銳的陰極尖部所發(fā)射出來,，因此可得極細(xì)而又具高電流密度的電子束，其亮度可達熱游離電子槍的數(shù)百倍,，或甚至千倍,。
12. 場發(fā)射電子槍所選用的陰極材料必需是高強度材料，以能承受高電場所加諸在陰極尖部的高機械應(yīng)力,，鎢即因高強度而成為較佳的陰極材料,。場發(fā)射槍通常以上下一組陽極來產(chǎn)生吸取電子,、聚焦、及加速電子等功能,。利用陽極的特殊外形所產(chǎn)生的靜電場,，能對電子產(chǎn)生聚焦效果，所以不再需要韋氏罩或柵極,。第一(上)陽極主要是改變場發(fā)射的拔出電壓(extraction voltage),，以控制針尖場發(fā)射的電流強度，而第二(下)陽極主要是決定加速電壓,，以將電子加速至所需要的能量,。
13. 要從極細(xì)的鎢針尖場發(fā)射電子，金屬表面必需*干凈,，無任何外來材料的原子或分子在其表面,，即使只有一個外來原子落在表面亦會降低電子的場發(fā)射，所以場發(fā)射電子槍必需保持超高真空度,，來防止鎢陰極表面累積原子,。由于超高真空設(shè)備價格極為高昂，所以一般除非需要高分辨率SEM,，否則較少采用場發(fā)射電子槍,。
14. 冷場發(fā)射式最大的優(yōu)點為電子束直徑最小，亮度最高,，因此影像分辨率*,。能量散布最小，故能改善在低電壓操作的效果,。為避免針尖被外來氣體吸附,，而降低場發(fā)射電流，并使發(fā)射電流不穩(wěn)定,，冷場發(fā)射式電子槍必需在10-10 torr的真空度下操作,，雖然如此，還是需要定時短暫加熱針尖至2500K(此過程叫做flashing),，以去除所吸附的氣體原子,。它的另一缺點是發(fā)射的總電流最小。
15. 熱場發(fā)式電子槍是在1800K溫度下操作,，避免了大部份的氣體分子吸附在針尖表面,，所以免除了針尖flashing的需要。熱式能維持較佳的發(fā)射電流穩(wěn)定度,，并能在較差的真空度下(10-9 torr)操作,。雖然亮度與冷式相類似，但其電子能量散布卻比冷式大3~5倍,，影像分辨率較差,，通常較不常使用,。
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