VP-RS20等離子體刻蝕機采用真空不銹鋼腔體等離子清洗裝置（CN201821506143.X）技術,，對標國際一線廠家,，補充國內技術短板,，真空腔體不銹鋼材質，功率500W,，VP-RS20頻率13.56MHz,，容積20L，能對材料起到清潔,、刻蝕,、活化、改性的作用,，滿功率運行3分鐘,，腔體溫度不高于45℃，不損傷樣品,，適用于半導體刻蝕,、芯片刻蝕、碳毯（CF）,、微流控芯片PDMS鍵合,、ITO導電玻璃、纖維,、單晶硅片,、PET、二氧化硅等幾乎所有材料的PLASMA處理,。

      廣州善準科技有限公司（Guangzhou SunJune Technolog Co.,Ltd）位于中國廣州,，專注于等離子體刻蝕機、真空等離子處理儀,、旋轉型真空等離子處理儀,、旋轉型等離子體低溫灰化儀和石英管真空封管機的研究、開發(fā)和制造,。善準人經(jīng)過多年的刻苦鉆研,，抽絲剝繭，反復測試,、成功獲得“一種低溫旋轉型石英等離子表面處理裝置：ZL202020226847.2）"等十項國家技術及軟件著作權,，成為國內掌握產(chǎn)生13.56MHz頻率，保證滿功率清洗30分鐘真空腔體內溫度不超過32攝氏度的等離子生產(chǎn)廠家,，應用此技術的VP-R系列迅速成為行業(yè)“爆款",，補充國內技術空白，性能比肩一線廠家,；研發(fā)生產(chǎn)的旋轉型真空等離子處理儀和旋轉型等離子體低溫灰化儀成功推出,，進一步鞏固了善準科技在真空等離子清洗機行業(yè)的地位；而回應市場需求，解決樣品在無氧無水條件下進行PLASMA處理的痛點而推出的手套箱專用分體式真空等離子處理儀,，則驗證了善準人與時俱進的研發(fā)能力和敢為人先的風格,；VS-Q系列石英管封管機解決實驗室安全、簡易地真空密封石英管的難點,，是對石英管真空密封技術的重新定義。