真空等離子清洗機(jī)VP-RS6采用真空不銹鋼腔體等離子清洗裝置技術(shù),，樣品腔容積6升,，樣品腔不銹鋼材質(zhì)，兩路進(jìn)氣,，中英文觸摸屏操作控制,，頻率13.56MHz，功率500W,，能對(duì)材料起到清潔,、刻蝕、活化,、改性的作用,，滿功率運(yùn)行3分鐘，腔體溫度不高于45℃,，不損傷樣品,，適用于晶圓去膠、煤灰化,、碳毯（CF）,、微流控芯片PDMS鍵合、ITO導(dǎo)電玻璃,、石墨烯,、纖維、單晶硅片,、PET,、二氧化硅等幾乎所有材料PLASMA處理。

      廣州善準(zhǔn)科技有限公司（Guangzhou SunJune Technolog Co.,Ltd）位于中國(guó)廣州,，專注于真空等離子清洗機(jī),、真空等離子處理儀,、旋轉(zhuǎn)型真空等離子處理儀、旋轉(zhuǎn)型等離子體低溫灰化儀和石英管真空封管機(jī)的研究,、開發(fā)和制造,。善準(zhǔn)人經(jīng)過多年的刻苦鉆研，抽絲剝繭,，反復(fù)測(cè)試,、成功獲得“一種低溫旋轉(zhuǎn)型石英等離子表面處理裝置：ZL202020226847.2）"等十項(xiàng)國(guó)家技術(shù)及軟件著作權(quán)，成為國(guó)內(nèi)掌握產(chǎn)生13.56MHz頻率,，保證滿功率清洗30分鐘真空腔體內(nèi)溫度不超過32攝氏度的等離子生產(chǎn)廠家,，應(yīng)用此技術(shù)的VP-R系列迅速成為行業(yè)“爆款"，補(bǔ)充國(guó)內(nèi)技術(shù)空白,，性能比肩一線廠家,；研發(fā)生產(chǎn)的旋轉(zhuǎn)型真空等離子處理儀和旋轉(zhuǎn)型等離子體低溫灰化儀成功推出，進(jìn)一步鞏固了善準(zhǔn)科技在真空等離子清洗行業(yè)的地位,；而回應(yīng)市場(chǎng)需求,，解決樣品在無氧無水條件下進(jìn)行PLASMA處理的痛點(diǎn)而推出的手套箱專用分體式真空等離子處理儀，則驗(yàn)證了善準(zhǔn)人與時(shí)俱進(jìn)的研發(fā)能力和敢為人先的風(fēng)格,；VS-Q系列石英管真空封管機(jī)解決實(shí)驗(yàn)室安全,、簡(jiǎn)易地真空密封石英管的難點(diǎn)，是對(duì)石英管真空密封技術(shù)的重新定義,。