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蘇州阿洛斯環(huán)境發(fā)生器有限公司
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CVD氣源發(fā)生器

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌其他品牌

廠商性質生產(chǎn)商

所  在  地蘇州市

更新時間：2025-04-02 10:18:30瀏覽次數(shù)：54次

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設備配備預壓料桶,、與大氣隔離的泵模組、高穩(wěn)定/耐腐蝕蒸發(fā)器以及一體化設計的嵌入式預熱器,。
         

設備配備預壓料桶,、與大氣隔離的泵模組、高穩(wěn)定/耐腐蝕蒸發(fā)器以及一體化設計的嵌入式預熱器,。液態(tài)前驅體經(jīng)過蒸發(fā)段氣化,，隨后調溫輸出。輸出組分進一步分布或混合,，為CVD工藝提供氣態(tài)原料,。前驅體接觸的材質均采用耐腐蝕材料。

例

PLC控制系統(tǒng),，Ethernet通訊,，與CVD生產(chǎn)線主控系統(tǒng)通訊。


 


 

含錫前驅體  

≤60  

sccm  

含氟前驅體  

≤20  

sccm  

H2O  

≤60  

sccm  

功率  

7.5  

kW  

 

 

 



CVD氣源發(fā)生器  


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