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真空室污染與否怎么診斷及去除方法
1、真空室污染怎么診斷及去除方法
除了靜態(tài)升壓法,，還有其他的方法來檢測污染,。在被污染的真空室內氣體成分主要為可凝性蒸汽，通過壓力真空計來獲取壓強數(shù)值（不可凝氣體的分壓）并與電真空計讀數(shù)比較（壓力真空計和電真空計本身需清潔?。?。如果壓力真空計測出氣體壓強數(shù)值遠優(yōu)于電真空計下的測量值，就可以明確真空室腔壁有污染,，通常為油,。
另外一個常用方法是：使用同一非壓力真空計，裝上和不裝上冷阱前后比較壓強,。如果真空室有污染,，裝上冷阱后沖液氮，此將使壓強突然下降10倍以上,。
2,、去除玻璃設備的污染
如果污染物有很高的蒸汽壓,，那么污染物可以用真空泵快速抽除。如果用真空泵抽除不了,，那么設備必須要做清潔處理,。被污染的玻璃部件首先要用鉻-硫酸混合物清洗，然后用蒸餾水沖洗,。如果還不能達到效果,，可以嘗試有機溶劑，然后再次用甲醇和蒸餾水沖洗玻璃部件（不要使用變性酒精?。?。
3、去除金屬設備/金屬部件的污染
通常會顯示出石油和油脂污染的痕跡,。如果這些東西不能通過泵入容器而輕易去除,，那么適當?shù)挠袡C溶劑（在所有情況下都不適合）將不得不用于清洗。的清潔度可以通過蒸汽浴來實現(xiàn),，比如在工業(yè)中常見的蒸汽浴。如果你想要降到極低的壓力范圍（<10-7 mbar）,，那么在清洗之后,，金屬部件必須在高達200攝氏度的溫度下烘烤。嚴重污染的金屬部件首先必須通過切割或噴砂表面來清洗,。這些方法的缺點是,，表面處理的表面面積將通過粗化和活躍的中心來增加，而這些中心可能會被輕易地吸附在蒸汽分子上,。在蒸氣浴中補充清潔（見上圖）是明智的,。在某些情況下，表面的電解酸洗可能是有益的,。在高真空元件的情況下,，有必要注意確保酸洗不會變成蝕刻，這將嚴重增加表面面積,。在粗糙和中等的真空范圍內工作時,，拋光表面是不需要的，因為表面在這些壓力系統(tǒng)中只起著從屬的作用,。