真空容器中污染物的主要來源有哪些
很多真空應(yīng)用中,,都需要避免污染,,像涉及食品藥品制造,,以及電子器件,、半導(dǎo)體、光學(xué)器件制造等,。那今天螺桿真空泵廠家就與大家一起來認(rèn)識下真空容器中污染物的主要來源有哪些,。
真空容器中的污染物主要來自于加工制造過程、安裝調(diào)試過程以及真空原件和環(huán)境的影響,,更具體的大致包括以下幾個方面:
首先是真空容器以及它的內(nèi)部安裝的各種機構(gòu),,都是通過機械加工得到。因此這個過程中,,它們的表面不可避免的會受到潤滑油,、冷卻液、焊接的污染,,這些是真空容器中污染物的重要來源之一,。
其次是和真空系統(tǒng)選擇的真空設(shè)備有關(guān)。真空容器抽真空中,,對于真空泵的選擇種類很多,,像油擴散泵、油封式機械泵,、往復(fù)泵,、各種干式真空泵等。其中油擴散泵,、油封泵以及常規(guī)往復(fù)泵,,它們的工作介質(zhì)都會涉及油,因此真空室產(chǎn)生會難以避免的受到油蒸氣的污染,。而就算是干式真空泵,,如螺桿真空泵、渦旋真空泵,、爪泵,、渦輪分子泵等,雖然腔體沒有油介質(zhì),,但大部分齒輪箱,、軸承等地方還是存在潤滑油脂。即使是使用低蒸氣壓的油脂,,極少量的油蒸氣還是有可能返流到真空容器中,,因而很難做到杜絕。
第三是各類真空閥門,。它們的運動機構(gòu)有時采用油或脂潤滑,,這是常被人們忽視的污染源。因此有些對污染敏感的真空應(yīng)用中,,真空閥門會要求采用固體潤滑,。
第四是真空容器中有時會存在有機涂層,,常有各種測試導(dǎo)線,以及運動機構(gòu)的潤滑,、軸承的潤滑,,溶氧也是污染源之一。
第五是安裝過程中,,清洗液的殘留物,,操作人員的衣著、手跡,、毛發(fā)皮屑等會造成污染,,以及使用工具時帶來的污染。
第六是材料軋制,、存儲,、機加工后產(chǎn)生的氧化層、氮化層未清理,,這也是污染源,。
第七是真空容器中各種材料本身的解吸與出氣。
后就是環(huán)境污染物,,就是試驗樣品存放場地有機物或無機物的污染,。