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維修愛德華EH4200羅茨泵氣量不足
Edwards EH4200機(jī)械增壓泵采用*的液力驅(qū)動,，可實(shí)現(xiàn)高效的動力傳送，在經(jīng)濟(jì)性,、性能和緊湊性方面擁有優(yōu)勢,。
EDWARDS愛德華羅茨真空機(jī)械增壓泵EH4200系列應(yīng)用：
這些增壓泵適用于高壓力差的場合，這種高壓力差使增壓泵可以與前級泵同時啟動,，從而減少總體抽氣時間,。
半導(dǎo)體制程、真空蒸餾,、真空包裝,、鋼脫氣、薄膜覆層,、真空冶金,、低密度風(fēng)洞、空間模擬,、真空浸漬,、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥,、CO2 激光
EDWARDS EH4200愛德華羅茨真空機(jī)械增壓泵EH系列功能和優(yōu)勢:
1,、適用于在0.01至50 mbar/0.0075至37.5 Torr 的壓力范圍下，需要超過 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的應(yīng)用場合,。
2,、 可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。
3,、 EH 泵具有高質(zhì)量的無油泵送機(jī)械裝置,。這可提供：安靜的無振動運(yùn)行,；牢靠且防腐蝕,。
4、 *的軸封技術(shù),，處理艙中不會出現(xiàn)油污染
5,、防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級鑄鐵制造。
6,、 經(jīng)驗(yàn)證的軸封布置可確保沒有油進(jìn)入泵送定子,，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門,，因此可將維護(hù)要求降到低。
7,、軸封的設(shè)計經(jīng)過優(yōu)化,，可確保潤滑劑無法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中。這可在需要gao標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能,。此外,，這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。
8,、動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實(shí)現(xiàn)泵的平穩(wěn),、運(yùn)行噪音小，而這些特點(diǎn)正是*技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的,。
愛德華EH4200羅茨泵的抽氣量不夠,，這種故障的出現(xiàn)，使泵未充分發(fā)揮它的效能,，滿足不了工藝需求,。
產(chǎn)生這種故障的原因可能是：泵的轉(zhuǎn)速不夠；密封不嚴(yán),，在進(jìn)氣管路的連接處或軸封處漏氣,；泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子、轉(zhuǎn)子外圈與泵殼,、轉(zhuǎn)子端面與端蓋周的間隙過大,，氣體返流量增大；環(huán)境溫度或冷卻水的溫度過高,。處理方法有下列幾種：
1,、若泵的轉(zhuǎn)速不夠，而抽氣量是與泵的轉(zhuǎn)速成正比,，則泵的抽氣量就會下降,。這有兩種情況：一種情況是泵的轉(zhuǎn)速未配備好，也就是皮帶輪的直徑不合適（即速比不合適）,，可更換皮帶輪,，改變皮帶輪的直徑，另一種情況可能是皮帶安裝不當(dāng),，未張緊,，皮帶打滑而降低了轉(zhuǎn)速，這可調(diào)節(jié)電機(jī)位置,，使皮帶張到一定緊度,。
2、查明何處漏氣，針對具體情況進(jìn)行處理,。若連接法蘭處漏氣,，則可能是由于連接螺釘松動，墊圈壓破變質(zhì)或者是法蘭面加工不平,。若在軸封處漏氣,，則有可能是密封皮碗未裝正或劈裂，此時則更換皮碗并裝正,。若是填料密封的,，可將扎進(jìn)的填料掏出。更換新的,。但填料的接口必須是斜面而互相搭接服帖,。第1圈的接口必須與第二圈的接口錯開，不能在同一位置上,。
3,、若轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子型面間的間隙不均勻，在轉(zhuǎn)一圈中一處間隙大,，另一處間隙小,，則是由于在裝配時，同步齒輪的嚙合狀況未調(diào)整好,。該對同步齒輪之所以做成另一個齒輪的輪轂固定,，另一個齒輪的輪轂做成可以調(diào)節(jié)的，就是因?yàn)閮赊D(zhuǎn)子的外形是共軛曲面,，要互相正常嚙合,，否則就會轉(zhuǎn)不動，即使能轉(zhuǎn)動,。也可能出現(xiàn)在轉(zhuǎn)動中,，兩轉(zhuǎn)子間的間隙時大時小。在這種狀態(tài)下,，可將可調(diào)齒輪連接輪轂的螺釘擰松并拔出定位銷釘,，進(jìn)行調(diào)節(jié)，使轉(zhuǎn)子的嚙合和齒輪的嚙合同時達(dá)到正常嚙合狀態(tài),，這時各處間隙就均勻了,，重新擰緊螺釘，重鉸銷釘孔并裝上銷釘定位,。若轉(zhuǎn)子外徑與泵殼的間隙某處過大（不會各處都大）,，則可擰松端蓋與泵殼的連接螺釘，撥出定位銷,，進(jìn)行調(diào)節(jié),，待各處間隙都均勻了，再擰緊螺釘,，重鉸端蓋與泵殼的定位銷孔并裝上錐銷,，若轉(zhuǎn)子端面與端蓋之間的間隙過大，則可能是由于泵殼與端蓋之間的密封墊子太厚,，可去下該墊子重新?lián)Q上薄墊子即可,。
4、由實(shí)踐得知,，環(huán)境溫度升高則抽氣量就會降低,。針對這種情況，盡量將注入水溫降低,。