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詳細(xì)摘要： 在進(jìn)行晶圓測試時,，需要MSA晶圓加熱載臺具有設(shè)置表面溫度的功能，特別是可以從常溫到高溫范圍內(nèi)設(shè)置的卡盤,，以便再現(xiàn)裝入狀態(tài)或進(jìn)行加速測試,。