測量型金相顯微鏡 MTM-6065H特點(diǎn)：
該儀器是一種兼顧影像,、目視與納米高度測量多用的高精度、高效率測量儀器,。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準(zhǔn)系統(tǒng),，可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu)，是集光,、機(jī),、電、算,、影像于一體的顯微鏡,。該產(chǎn)品以二維測量為主，也可作三維輔助測量，廣泛應(yīng)用于電子組件,、精密模具,、塑料、PCB加工方面,、鍍膜厚度,、手機(jī)玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。
特點(diǎn)：
1. Z軸光柵尺分辨力為0.1μm
2. X,、Y軸采用空氣軸承,、花崗石導(dǎo)向，保證了機(jī)械系統(tǒng)的精確穩(wěn)定,，提高了測量精度
3. X,、Y、Z三軸伺服控制,，定位精度高,、速度快，運(yùn)行平穩(wěn)
4. 同軸光/底光測量
5. 內(nèi)置偏光測量光學(xué)模塊
6. 自主開發(fā)QMS3D-M軟件,，高清晰進(jìn)口1/2"彩色攝像機(jī)
7. 可通過激光指示器尋找被測工件的具體位置,，可適應(yīng)復(fù)雜工件的測量
8. 可實(shí)現(xiàn)Z軸自動(dòng)對焦
9. 具有偏光和DIC檢測功能
10. 可搭配白光納米檢測模塊測量納米級厚度
測量型金相顯微鏡 MTM-6065H?技術(shù)規(guī)格參數(shù)：
型號 | MTM-6065H | MTM-6090H | |
工作臺(tái) | 玻璃臺(tái)尺寸(mm) | 1070 x 640 | 1070 x 640 |
X、Y軸運(yùn)動(dòng)行程(mm) | 600 x 650 | 600 x 900 | |
Z軸行程(mm) | 200 | ||
外形尺寸(mm) | 1800 x 1350 x 1450 | ||
儀器重量(kg) | 1300 | 1500 | |
X,、Y軸光柵尺分辨力(μm) | 0.5 | ||
Z軸光柵尺分辨力(μm) | 0.1 | ||
示值誤差(μm) | E1XY=( 2.5+ L/200) μm (L為測量長度,，單位mm) | ||
物鏡放大倍數(shù)誤差 | 包括畸變在內(nèi)的放大率誤差≦0.08% | ||
落射照明光源 | 可調(diào)高亮度鹵素?zé)?/span> | ||
底光照明光源 | 可調(diào)高亮度LED燈源 | ||
目視系統(tǒng) | 影像系統(tǒng) | ||
物鏡放大倍數(shù) | 5X、10X,、20X,、50X(可選配100X) | 5X、10X,、20X,、50X；10X Mirau物鏡 | |
目鏡放大倍數(shù) | 10X雙鏡筒 | 1/2”CCD攝像機(jī) | |
視頻總倍率 | 50X ~500X | 142.5X ~1425X (19.5”顯示器,，分辨率1440 x 900) | |
化工儀器網(wǎng)