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高靈敏度的熒光譜檢測腔體是一種石英材料制成的封閉腔室，內(nèi)部常常充滿等離子體氣體,。等離子體是一種高溫,、高密度的氣體，由帶正電荷的離子和帶負電荷的電子組成,，具有導電性能,。這種石英腔可以用于等離子體物理研究、等離子體加工技術以及材料表面改性等領域,。

高靈敏度的熒光譜檢測腔體可以有效地將等離子體與外界隔離,，從而提高等離子體的純度和密度，同時保護外部設備不受等離子體的影響,。例如,，在半導體制造過程中，石英腔可以通過對氣體進行高頻電場激勵來產(chǎn)生等離子體,，用于蝕刻,、沉積和表面改性等工藝。此外,，石英腔還能保持良好的熱穩(wěn)定性和耐腐蝕性,，使其能夠在高溫、高壓和高氧化性的環(huán)境下,，長期運行,。

電感耦合等離子（Inductively Coupled Plasma，ICP）和電容耦合等離子（Capacitively Coupled Plasma,，CCP）是兩種廣泛用于實驗室中的等離子體源,。它們的主要區(qū)別在于它們產(chǎn)生等離子體的機制和特點。

ICP是在高整流器運作的RF（射頻）電源提供的高頻RF（常見頻率是27.12 MHz）的作用下工作的,，而這個RF電源將產(chǎn)生的高頻電場通過感應耦合傳送到氣體放電管（都柏林管）內(nèi)。這種電場產(chǎn)生了交變電壓,，導致氣體分子發(fā)生電離,，產(chǎn)生了等離子體。ICP的優(yōu)點在于它可以產(chǎn)生非常高的電子溫度和較高的等離子體密度,，并用于產(chǎn)生高靈敏度的熒光譜檢測,。

另一方面，CCP是通過直接應用高頻電場在帶電片和反電極之間產(chǎn)生的交變電場來產(chǎn)生等離子體的,。這種電場使電極表面產(chǎn)生周期性的荷電狀態(tài)變化,，從而促進了等離子體的生成。CCP的優(yōu)點是其低能耗和簡單的結構,，但它通常只能產(chǎn)生低電子溫度和低等離子體密度的等離子體,，因此在熒光譜檢測方面使用較少。

因此，這兩種等離子體產(chǎn)生技術在實驗室中都得到廣泛應用,，并根據(jù)所需的特定應用和實驗室條件進行選擇,。

技術規(guī)格參數(shù)：

腔體材質：鋁合金+石英玻璃

腔體尺寸：內(nèi)徑110mmx深度220MM

腔體容積：2.5L

腔體觀察窗：內(nèi)徑φ35   石英玻璃

腔體抽氣口：KF16

腔體進氣口：6MM卡套

腔體真空度：機械泵小于等于0.5Pa