目錄:鄭州科探儀器設(shè)備有限公司>>材料樣品處理>>小型濺射儀>> KT-Z1650PVDmini型磁控濺射儀
| 靶材材質(zhì) | 金 鉑 銅 銀 等 | 靶材尺寸 | 50mm |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
| 濺射氣體 | 根據(jù)需求通氣 | 控制方式 | 觸摸屏智能控制 |
| 樣品倉尺寸 | φ160x160mm | 樣品臺尺寸 | 50mm |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
mini型磁控濺射儀KT-Z1650PVD,，該設(shè)備集磁控濺射與離子鍍膜技術(shù)為一體,，對提高顏色一致性、沉積速率及化合物成份的穩(wěn)定性提供了解決方案,。設(shè)備具有外形美觀,、結(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小,、自動化程度高,、操作簡單靈活、性能穩(wěn)定,、易維護等特點,。設(shè)備可適用于不銹鋼,、水鍍五金件/塑膠件、玻璃,、陶瓷等材質(zhì),；可制備單質(zhì)金屬層如鈦、鉻,、銀、銅或金屬化合物膜層如TiN/TiCN/TiC/TiO2/TiAlN/CrN/ZrN/CrC等,；可實現(xiàn)深黑色,、爐內(nèi)金、玫瑰金,、仿金,、鋯金、寶石藍(lán),、亮銀色等顏色,。
mini型磁控濺射儀KT-Z1650PVD廠家供應(yīng)技術(shù)參數(shù)；
控制方式 | 7寸人機界面 手動 自動模式切換控制 |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
功率 | ≤1000W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A |
真空 | 機械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板類型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺 | 可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底） |
樣品臺轉(zhuǎn)速 | 8轉(zhuǎn)/分鐘 |
樣品濺射源調(diào)節(jié)距離 | 40-105mm |
真空測量 | 皮拉尼真空計（已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa） |
預(yù)留真空接口 | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口 |
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