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  真空微型探針臺應(yīng)用與半導(dǎo)體測試變 溫真空腔探針臺系統(tǒng)方案：高低溫真空腔探針系統(tǒng)主要用于為被測芯片提供一個(gè)低溫或者高溫的變溫測量環(huán)境,，以便測量分析溫度變化時(shí)芯片性能參數(shù)的變化,。腔體內(nèi)被測芯片在真空環(huán)境中。

   精巧型真空腔體測試腔主要用于氣體敏感材料或其他對環(huán)境敏感性材料中的電信號測試,。測試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺,，臺面為φ30，臺面高可升溫到高400℃。臺面四周裝有微型3軸可移動(dòng)鎢鋼探針,，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試,。

    真空微型探針臺應(yīng)用與半導(dǎo)體測試 低溫真空探針臺是一款為晶片、器件和材料（薄膜,、納米,、石墨烯、電子材料,、超導(dǎo)材料,、鐵電材料等）提供真空和低溫測試條件下進(jìn)行非破壞性的電學(xué)表征和測量平臺。CPS系列低溫真空探針臺可以對材料或器件進(jìn)行電學(xué)特性測量,、光電特性測量,、參數(shù)測量、高阻測量,、DC測量,、RF測量和微波特性測量，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)（芯片,、晶圓片,、封裝器件）、MEMS,、超導(dǎo),、電子學(xué)、物理學(xué)和材料學(xué)等領(lǐng)域,。為了提高系統(tǒng)的實(shí)用性,，系統(tǒng)還可以提供3.2K的溫度擴(kuò)展選件、振動(dòng)隔離裝置,、LN2杜瓦,、高放大倍數(shù)的顯微鏡、分子泵機(jī)組,、熱輻射屏的溫度控制裝置,、探針臂的光纖電纜、光學(xué)樣品架等選件,。