微分干涉顯微鏡MZL-MX4R

金相干涉顯微鏡性能特點(diǎn)：

  1）MX4R系列為新型FPD檢查顯微鏡,，專為L(zhǎng)CD行業(yè)/TFT玻璃/COG導(dǎo)電粒子壓痕、粒子爆破檢查

  2）MX4R系列機(jī)型采用4寸,、6寸平臺(tái)設(shè)計(jì),，可適用于相應(yīng)尺寸的晶圓或小尺寸樣品的金相檢查

  3）MX4R系列，其微分干涉效果可與進(jìn)口品牌相媲美

  4）MX4R系列機(jī)型采用全新設(shè)計(jì)的長(zhǎng)工作距物鏡,、半復(fù)消色差技術(shù),，多層寬帶鍍膜技術(shù)，采用長(zhǎng)壽命LED光源

  5）多種高度功能化的附件,，能滿足各種檢驗(yàn)需要,，可用于明場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏光,、微分干涉觀察

MZL-MX4R金相干涉顯微鏡標(biāo)準(zhǔn)配置：

放大倍率：50X,、100X、200X,、500X
 

光學(xué)系統(tǒng)：無(wú)限遠(yuǎn)色差正光學(xué)系統(tǒng)
 

目鏡：高眼點(diǎn)大視野下平場(chǎng)目鏡PL10X/22mm
 

物鏡：LMPL無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離金相物鏡(5X-DIC10X-

DIC20X-DIC50X)
 

觀察筒：30度傾斜,，倒像，無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈?zhǔn)饺坑^察筒,，分光

比雙目：三目=50：50或100：0
 

轉(zhuǎn)換器：內(nèi)傾式五孔轉(zhuǎn)換器,，帶DIC插槽
 

鏡體：粗微調(diào)同軸，粗調(diào)行程33mm,微調(diào)精度0.001mm,帶

粗調(diào)機(jī)構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置,，內(nèi)置100-240V寬電壓變

壓器,，單路電源輸出
 

載物臺(tái)：4寸雙層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，行程105*105mm;帶金屬

平板平臺(tái),，右手位X,、Y移動(dòng)手輪，配平臺(tái)接口
 

反射照明系統(tǒng)：帶可變視場(chǎng)光闌,，均可調(diào)中心,；帶濾色片插

槽與偏光裝置插槽；帶斜照明切換拉桿,。單顆大功率5W
 

LED ,白色,，光強(qiáng)連續(xù)可調(diào)
 

透射照明系統(tǒng)（選配）
 

偏光裝置：起偏鏡插板，360度旋轉(zhuǎn)式偏鏡插板
 

攝像附件：0.5X攝像接筒,，C型接口,，可調(diào)焦
 

選配件：
 

目鏡：高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X/22mm,視度可調(diào)，可

帶測(cè)微尺
         高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL15X/16mm
 

物鏡：LMPL無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距金相物鏡（100X）
 

觀察筒：25度傾斜,，正像,，無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈?zhǔn)饺坑^察筒,，分光

比雙目=50：50或100：0
 

載物臺(tái)：6寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，行程158*158mm,，玻璃

工作臺(tái),，右手位X、Y移動(dòng)手輪,，帶離合器手柄,，可快速移動(dòng)
 

攝像接口：0.35X、0.65X,、1X攝像接筒,，C型接口，可調(diào)焦
 

濾色片：反射用干涉濾色片
 

其他：DIC微分干涉組件

   ★可選配6英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái),，平臺(tái)面積

445×240mm,，行程158×158mm；帶快速移動(dòng)裝置,；玻璃

載物臺(tái)板,，透反兩用平臺(tái)；

  ★可選配8英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái),，平臺(tái)面積

450×310mm,，行程200×170mm；帶快速移動(dòng)裝置,；玻璃

載物臺(tái)板,，透反兩用平臺(tái)；

  ★可選配標(biāo)準(zhǔn)微分干涉（DIC）裝置,、OLYMPUS微分干

涉（DIC）裝置

干涉顯微鏡實(shí)拍效果參考圖

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