真空鍍膜機想來來大家都存有疑惑,，今天來討論的是關(guān)于真空鍍膜設(shè)備真空室的設(shè)計問題，要是您有興趣了解的話可以一起來看看下面的內(nèi)容,。

真空鍍膜技術(shù)是在真空條件下采用物理或者化學方法,，使物體表面獲取所需膜體，真空鍍膜技術(shù)根據(jù)其采用方法的不同科分成蒸發(fā)鍍,、濺射鍍,、離子鍍、束流沉積以及分子束外延等,，這次分析的鍍膜設(shè)備采用的是磁控濺射鍍膜,。

真空室是真空鍍膜機的主要部件之一。鍍膜機真空室均配有各種元件,，能夠滿足各種類型的真空鍍膜的工藝要求,。就像蒸發(fā)鍍膜機真空室內(nèi)置蒸發(fā)金屬的裝置的話，便能完成金屬薄膜的蒸鍍工藝,。盡管鍍膜機真空室的可能適配的工藝不同,，但基本上它的組成離不開氣缸、封頭,、法蘭,、管道、門,、水冷等結(jié)構(gòu),。

真空室是真空設(shè)備的一個主要組成部位,真空鍍膜設(shè)備真空室設(shè)計主要考慮的就是密封性和可靠性，結(jié)構(gòu)須要合理,，真空設(shè)備的材料生產(chǎn)都是在真空室內(nèi)進行的,，材料對真空度的影響要小，設(shè)計不能馬虎,，要注意一些問題,。

（一）焊接要求

根據(jù)需要，在該設(shè)備真空室的結(jié)構(gòu)設(shè)計上也有所差別,，常見有圓柱形,、圓錐形、盒形等結(jié)構(gòu),。對于我們的鍍膜機真空室的焊接技術(shù)上,，要求有基本五點：

為了防止鍍膜機的外殼變形，真空室的非氣密焊接一般用間斷焊,。

焊縫的總長度盡量短些,，高度要大于真空室殼體的三分之一厚度，才能避免一些漏氣的可能,。

焊縫要便于做真空檢漏工作,。

盡量別在焊縫上開孔,。

焊縫與焊縫間別存在交叉，兩縫的中心線位置間應大于10cm的距離,。

（二）主體材料

鍍膜機真空室通常以金屬軋制板材作為主要材料制作,，作為真空室的主體材料要求可焊性、氣密性要求比較高,。對于一般的鍍膜機真空室使用的主體材料通常是低碳鋼,、合金鋼、鋁和銅之類的金屬或合金,。而不銹鋼則一般用于需要高真空,、耐腐蝕的工藝的型號中。

（三）封頭類型

作為鍍膜機真空室的一個重要零件——封頭,，可與筒體焊接組成一個整體,。真空鍍膜設(shè)備的封頭形式有球形、錐形,、凸形,、平蓋形等封頭類型。

（四）門的設(shè)計

為了便于設(shè)備的處理操作,、方便各種機構(gòu)在房間內(nèi)的安裝,、取送材料等，在蒸發(fā)鍍膜機真空室裝設(shè)了門,。作為可動件的門,，常見的形式有凸形、球形,、平蓋形,，等等。鍍膜機真空室的門通常由密封門板,、門鏈,、法蘭、密封圈等結(jié)構(gòu)組成,。根據(jù)鍍膜機真空室外殼的結(jié)構(gòu),，其門板有凸面、平面兩種,，形狀上有圓形,、矩形之分。 矩形門的密封槽加工相對于圓形門來說比較不方便,，所以一般適用在一些小型的真空鍍膜設(shè)備中,。法蘭要做焊后精加工處理,，才能避免法蘭變形而影響到設(shè)備的整體密封性能,。

門的開關(guān)可選配手動,、自動的形式。通常的真空室都有夾緊系統(tǒng),，夾緊系統(tǒng)有偏心夾緊系統(tǒng),、絲桿螺母系統(tǒng)等類別。夾緊系統(tǒng)施加于密封圈以“預緊力”,。但如果鍍膜機真空室是鐘罩型的話,，就不需要有夾緊系統(tǒng)，因為它本身的重量就可以給密封圈足夠的預緊力,。在抽氣真空之后的大氣壓作用于密封圈,，其密封性就更有保障了。

尺寸較大的鍍膜機真空室門受大氣環(huán)境壓力的影響更大,，其密封圈更容易被損壞,。比方說一個直徑為兩米的圓形門，它承受約為3 X 10N的作用力,。所以對于密封槽的設(shè)計,，應該避免密封圈受力過大。注意密封槽截面積要大于密封圈截面積,，且密封圈結(jié)構(gòu)變形允許在30％的范圍,。

（五）水冷設(shè)計

鍍膜機真空室上通常均設(shè)有水冷系統(tǒng)。由于一個鍍膜機真空室有時會有較長時間處于一種高溫狀態(tài)下進行持續(xù)工作,，為了可以防止設(shè)備殼體變形和保證真空密封性而設(shè)立,。水冷系統(tǒng)結(jié)構(gòu)形式有兩種：一種是在真空室外壁裝配冷卻水套，另一種是將水管進行螺旋式地焊接在真空室的外壁上,。

具體要選擇哪種水冷系統(tǒng),，還得取決于設(shè)備的具體使用條件。如考慮焊縫修復方便性,、觀察方便性,、工作真空高低程度、加熱溫度差異,、設(shè)備結(jié)構(gòu)差異之類的問題,。在蒸發(fā)鍍膜機真空室的熱負載量較小時用水管冷卻系統(tǒng)、熱負載量較大時則用冷卻水套系統(tǒng)來降溫,，也可以兩種不同形式的水冷系統(tǒng)一起使用,。

目前的真空鍍膜機真空室的殼體形式以圓筒形居多，主要是因為其制造更簡單,，而且強度也不錯,。真空室的制造除了主要的整體板材之外，對于一些尺寸較小的筒體型真空室來說，它亦可用一種熱軋的無縫鋼管作為主體材料打造,。在真空室焊制完成后,，要做好矯直和整形工作，再根據(jù)用戶具體需求來做成立式,、臥式等形式的鍍膜機真空室,。