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更新時間：2020-06-12 11:07:11瀏覽次數(shù)：665

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供貨周期	一個月以上	應(yīng)用領(lǐng)域	農(nóng)業(yè),能源,印刷包裝,航天,電氣

英國雷尼紹RLD10平面鏡干涉儀
RLD10平面鏡干涉儀
平面鏡干涉儀適用于XY平臺應(yīng)用。

RLD10平面鏡干涉儀

平面鏡干涉儀適用于XY平臺應(yīng)用,。

RLD10發(fā)射頭內(nèi)含有干涉鏡組、*的多通道條紋檢測系統(tǒng),、激光光閘和內(nèi)置的激光準(zhǔn)直輔助鏡,。提供0°和90°兩種RLD10發(fā)射頭型號。

雙軸解決方案 — 雙軸平面鏡系統(tǒng)是XY平臺應(yīng)用的理想解決方案。
高分辨率 — 與角錐反射鏡系統(tǒng)相比,，平面鏡系統(tǒng)還可用于要求更高分辨率的應(yīng)用,。
敏感環(huán)境 — 還提供低功率型號的平面鏡干涉儀發(fā)射頭。適合其功耗要求低于標(biāo)準(zhǔn)RLD額定值（即 < 2 W）的應(yīng)用,。

RLD發(fā)射頭和鏡組

軸行程	0 m至1 m
分辨率（使用RLU配置）	模擬正交 = λ/4 (158 nm) 數(shù)字正交 = 10 nm RPI20分辨率 = 38.6 pm
系統(tǒng)非線性誤差* (SDE) *不含接口	低于50 mm/sec且信號強度 > 70%時 <±2.5 nm 1 m/sec且信號強度 > 50%時 <±7.5 nm
速度	可達1 m/sec

對于非真空應(yīng)用,，為了維持變動環(huán)境條件下的精度，需要某種形式的折射率補償,。雷尼紹提供RCU10實時方波補償系統(tǒng),，用于對環(huán)境變化進行補償。

若選用RPI20并行接口并集成到RLE系統(tǒng)中,，可達到38.6皮米的分辨率,。該接口可接收差分模擬1 Vpp正弦/余弦信號，并提供并行輸出格式,。有關(guān)附件的詳細(xì)信息,，請參見RCU10補償系統(tǒng)和激光尺接口。

英國雷尼紹RLD10平面鏡干涉儀