江西專業(yè)愛德華干泵維修  

江西南昌愛德華干泵維修
南昌縱鵬機(jī)械設(shè)備有限公司專業(yè)從事edwards干泵維修，正規(guī)的維修工廠,，擁有完整的維修SOP,。Edwards iXH1210HT愛德華干泵維修保證質(zhì)量，edwards干泵iXH1210HT維修基本無(wú)返修狀況,，edwards真空泵維修收費(fèi)合理,，edwards真空泵維修服務(wù)品質(zhì)到位，是供應(yīng)商理想的選擇,！
edwards iXH系列干泵產(chǎn)品是Edwards的市場(chǎng)iH產(chǎn)品的換代升級(jí),，為嚴(yán)苛制程能力樹立了新標(biāo)準(zhǔn)，它在世界上的許多300mm半導(dǎo)體和平板工廠內(nèi)通過(guò)提高制程可靠性實(shí)現(xiàn)低擁有成本,?？蓾M足 FPD、太陽(yáng)能,、半導(dǎo)體和LED制造業(yè)中日益提高的氣體流量要求的完美大容量干泵和增壓泵系列,。 除了具有高峰值抽取速度外,，這些泵還配備多種特性以確保在嚴(yán)苛制程中具有大可靠性。
edwards iXH泵采用模塊化設(shè)計(jì),，符合 當(dāng)今的制程要求,，并且對(duì)于前沿工廠中不斷涌現(xiàn)的應(yīng)用挑戰(zhàn)有著路線明確的應(yīng)對(duì)計(jì)劃。
應(yīng)用
半導(dǎo)體的目標(biāo)應(yīng)用包括：
PECVD
高 K
低 K
SACVD
LPCVD
ALD
EPI
FPD 的目標(biāo)應(yīng)用包括：
PECVD
TCO
刻蝕
傳輸腔

愛德華干泵維修主要特性和優(yōu)勢(shì)：
針對(duì)*的EPI和太陽(yáng)能制程大幅提高了氫氣抽取速度,。
大容量干泵和增壓泵提供擴(kuò)展的制程窗口以提高產(chǎn)量,。
占地面積更小，高度更低,，便于在任何工廠中安裝,。
符合主要的標(biāo)準(zhǔn)，包括UL,、CE 和 S2,。可以始終如一地使用或省略不用,。
愛德華干泵維修小結(jié)：
1.必須先泵浦外觀現(xiàn)象是否有破損,，如有破損需告知使用單位。
2.通電之前還得通水,，通水之前必須檢測(cè)你所有的接頭是否有漏水現(xiàn)象,，以免燒毀電路板及馬達(dá)。
3.拆解泵浦,，拆解之前必須分清楚螺絲部位,，長(zhǎng)度，大小,，以免組裝時(shí)發(fā)生錯(cuò)誤,。
4.拆解過(guò)程中必須要細(xì)心，轉(zhuǎn)子是否有磨損,，蓋板是否有損傷,，缸璧是否有劃傷。
5.拆解時(shí)有的是帶控制電箱,，有的是沒有的，所以特別分清楚,，控制部分特別注意,，不要損壞電路板之內(nèi)的。
6.拆解完畢之后我們要清洗,，噴砂,，烘烤，組裝,，所以拆解時(shí)配件必須擺放整齊,，以至于組裝時(shí)方便,。
7.用超聲波清洗機(jī)將所有的零件放在里面將其零件清洗，清洗完畢之后,，在放入烤箱烘烤,。
8.噴砂，噴砂有幾種噴砂機(jī),，如果是濕式噴砂機(jī)更為方便,，所有的配件及腔體，蓋板都檢查完畢,。
9.組裝過(guò)程中必須檢查所有的轉(zhuǎn)子尺寸是否達(dá)標(biāo),，符合這臺(tái)真空泵使用尺寸，這個(gè)會(huì)直接導(dǎo)致你維修真空泵質(zhì)量是否達(dá)標(biāo),。
10.組裝過(guò)程中軸封及軸承組裝必須到位,，如果不到位會(huì)影響你真空泵維修質(zhì)量及使用壽命。
11.組裝過(guò)程中發(fā)現(xiàn)有轉(zhuǎn)子及軸套尺寸不到位應(yīng)該停止馬上處理,，工作第1次做到位,，不必返工。
12.裝好之后我們要進(jìn)行調(diào)試間隙,。
13.調(diào)試間隙時(shí)你螺絲需要按照標(biāo)準(zhǔn)鎖多少磅就是多少磅,，以免使用過(guò)程中松動(dòng)導(dǎo)致真空泵卡死。
14.間隙調(diào)試完畢,，就組裝馬達(dá)及管路,，加油測(cè)試。
15.測(cè)試也是關(guān)鍵時(shí)候,，也是對(duì)你勞動(dòng)成果的肯定,。
16.測(cè)試之前確定電壓，以便電機(jī)燒毀,，確認(rèn)無(wú)誤在通電,。
17.通電之前先測(cè)試電機(jī)是否正傳還是反轉(zhuǎn)，如果反轉(zhuǎn)三根線當(dāng)中,，隨便兩根互換及可,。
18.相位及電壓對(duì)了之后，我們可以接真空表頭,，看看真空度及,，抽速是否達(dá)標(biāo)。
19.沒有通氣,，通水時(shí)不宜測(cè)試時(shí)間過(guò)長(zhǎng),，以便于電機(jī)溫度過(guò)高導(dǎo)致燒毀。
20.上架時(shí)有的氣管接頭,，水管接頭必須檢查,，是否有劃傷,，如有需處理及更換。
21.上架好之后通水,，通電,，通氣所有都檢查完畢，方可通電,。
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