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采用薄膜按鍵+液晶屏控制,，實時顯示儀器的運行狀態(tài),。
采用內(nèi)置兩路MFC控制氣體流量
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
| 設(shè)備名稱:內(nèi)置MFC等離子清洗機 型號：SAT-5D 品牌：賽奧特（SAT) 生產(chǎn)廠家：賽奧特（北京）科技有限公司 | ||
| 技 術(shù) 參 數(shù) | ||
| 序號 | 項目名稱 | 詳細(xì)參數(shù) |
| 1 | 主要應(yīng)用 | 1.表面清潔 2.表面活化 3.鍵合 4.去膠 5.金屬還原 6.簡單刻蝕 7.去除表面有機物 8.疏水實驗 9.鍍膜前處理等 |
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2 |
主要特點 | 1．實時檢測和顯示真空度，真空度準(zhǔn)確使得機器在智能控制下有了可靠的依據(jù) |
| *2．艙體,、管路,、閥體全部為不銹鋼材料，耐用防腐蝕 | ||
| *3.采用電容式 Plasma激發(fā),，實驗效果穩(wěn)定,，均勻可靠 | ||
| *4．采用薄膜按鍵+液晶屏顯示控制，手動,，自動兩種模式任意切換 | ||
| 5．程序化設(shè)計,，預(yù)先編輯好程序，儀器自動完成實驗 | ||
| 6.無需任何耗材,，使用成本低,，無需特殊進(jìn)行維護(hù)，在日常使用中保持儀器清潔即可,，密閉真空環(huán)境下完成實驗避免二次污染 | ||
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3 |
技術(shù)規(guī)格 | 艙體尺寸： 255X150（直徑）mm ,，不銹鋼艙體 |
| 頻率：13.56MHz 頻率偏移量＜0.2MHz 電源220V/50Hz | ||
| 射頻功率:150W，10到150W無極可調(diào),，精度：1瓦 | ||
| 時間設(shè)定：1秒到99分59秒 | ||
| 氣體穩(wěn)定時間：60秒 氣路設(shè)置：內(nèi)置兩路MFC控制 | ||
| 外形尺寸: 552X590X295mm 整機重量： 28Kg | ||
| 4 | 基本配置 | 主機 + 真空系統(tǒng)（真空泵 油霧過濾器 真空管 法蘭） + 外加氣體軟管 樣品托盤 + 說明書 + 電源線 + 合格證 |
內(nèi)置MFC等離子清洗機