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PLUTO-F(14.5L)實(shí)驗(yàn)室方腔等離子清洗機(jī)/等離子體表面處理系統(tǒng)是一款功能強(qiáng)大的桌面型表面等離子體設(shè)備,，非常適合于高校,、科學(xué)研究所和企業(yè)實(shí)驗(yàn)室，或者小批量生產(chǎn),，需要低成本運(yùn)作且高效處理的企業(yè),。它具備等離子設(shè)備幾乎所有的功能，具有較大的腔體尺寸和靈活的電極配置方式,。
PLUTO-F(14.5L)實(shí)驗(yàn)室方腔等離子清洗機(jī)特點(diǎn)：
1. 桌面型,，性能穩(wěn)定、操作簡(jiǎn)便,、使用成本極低,、易于維護(hù)，高性?xún)r(jià)比,。
2.小身材,，有效處理面積大,，可以輕松處理8寸硅片去膠等應(yīng)用，最大可以處理203mm*203mm樣品,。
3.采用氣浴電極,，清洗效率高。
4.靈活的電極配置方案,，最多可以處理2片8寸硅片
5.對(duì)各種幾何形狀,、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷,、玻璃、硅片,、塑料等物件表面進(jìn)行超清洗和表面改性,。
PLUTO-F(14.5L)實(shí)驗(yàn)室方腔等離子清洗機(jī)參數(shù)：
1. 真空腔規(guī)格: 材質(zhì)6061-T6鋁合金 240mm*300mm*200mm
2. 電極：平板氣浴電極，材質(zhì)6061-T6鋁合金
3. 電極尺寸：205mm *205mm
4. 頻率：13.56MHz (可選配40KHz射頻等離子源)
5. 功率：0-500W連續(xù)可調(diào),，精度1W,可在設(shè)備運(yùn)行中隨時(shí)調(diào)整參數(shù)
6. 氣體控制：針式氣體流量閥,， 60-600ml 2路氣體
7. 真空計(jì)：電偶式真空計(jì)，精度：0.01mTor
8. 控制方式：4.3寸工業(yè)控制觸摸屏,，全手動(dòng)控制和全自動(dòng)控制兩種控制方式
控制軟件功能：界面顯示實(shí)時(shí)工作狀態(tài)
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