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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,石油,地礦,能源,電子/電池 |
尼康旗下的NIKON INSTECH公司（總部：東京）推出高度分辨率達到1pm的光干涉顯微鏡系統(tǒng)“BW-M7000"（圖1）。該系統(tǒng)可高速高精度測定高度范圍從亞納米級到毫米級的表面性狀（材料表面圖案及粗糙度,、表面上的微小落差等）,。
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
1pm高分辨率光干涉CNC顯微鏡BW-M7000
尼康旗下的NIKON INSTECH公司（總部：東京）推出高度分辨率達到1pm的光干涉顯微鏡系統(tǒng)“BW-M7000”（圖1）。該系統(tǒng)可高速高精度測定高度范圍從亞納米級到毫米級的表面性狀（材料表面圖案及粗糙度,、表面上的微小落差等）,。
表面性狀測定采用尼康自主開發(fā)的方式——“FVWLI（Focus Variation with White Light Interferometry）法”。該方法可使對象材料的表面生成干涉紋,，高精度決定各像素的焦點位置,。通過使用這種方式，可在2.5倍（視野4.4×4.4mm）100倍（視野111.0×110.0μm）的所有倍率下實現(xiàn)三維算數(shù)平均高度（Sa）為0.1nm的表面性狀評估,。能夠以單一模式測定超平滑表面到粗糙表面,，無需更換光學(xué)濾光片等部件。另外,，在測定膜厚時使用光譜干涉法,。能以不到0.1秒的時間測定厚度為1nm～40μm的透明薄膜的厚度。
可通過程序控制手段實現(xiàn)全自動測定,，能夠自動實施對焦,、調(diào)整樣品的傾斜、判斷是否合格等操作,?？勺詣訙y定多個視野，除了材料研發(fā)一線之外,，還可輕松用于品質(zhì)管理及*現(xiàn)場。
該顯微鏡配備大行程為300×300mm的電動XY軸載物臺,，以及大行程為200mm的電動Z軸變焦載物臺,。可測定半導(dǎo)體,、LED,、薄膜材料、高分子材料,、精密機械加工部件等多種樣品（圖2,、圖3）。在測定鉆頭*的表面形狀時，可用夾具保持其直立固定狀態(tài),。
