HMDS涂膠機(jī)（無塵干燥箱）

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性：在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,，涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠,，顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處,，容易造成漂條、浮膠等,，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,，同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。

增黏劑HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善這種狀況,。將HMDS涂到硅片表面后,，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,，起著偶聯(lián)劑的作用。

HMDS涂膠機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：

●機(jī)外殼采用冷扎鋼板噴塑處理,，內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成,；加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周，內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置,。鋼化,、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。
●箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),，整體成型的硅橡膠門封圈,，確保箱內(nèi)高真空度。
●微電腦智能控溫儀,，具有設(shè)定,，測定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能，控溫精確,，可靠,。
●智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序，溫度,，真空度及每一程序時(shí)間,。
●HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì),，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無外漏顧慮,。整個(gè)系統(tǒng)采用優(yōu)質(zhì)材料制造,，無發(fā)塵材料，適用100級光刻間凈化環(huán)境,。
●HMDS管路加熱功能,，使HMDS液體進(jìn)入箱體的前端管路加熱，使轉(zhuǎn)為HMDS氣態(tài)時(shí)更易,。
●低液報(bào)警裝置,，采用紅外液體感測器，能及時(shí)靈敏給出指令（當(dāng)HMDS液過低時(shí)發(fā)出報(bào)警及及時(shí)切斷工作起動(dòng)功能）
●溫度與PLC聯(lián)動(dòng)保護(hù)功能（當(dāng)PLC沒有啟動(dòng)程序時(shí),，加溫功能啟動(dòng)不了,，相反加溫功能啟動(dòng)時(shí)，PLC程序不按正常走時(shí)也及時(shí)切斷工作功能,，發(fā)出警報(bào)）
●整個(gè)箱體及HMDS氣體管路采用SUS316不銹鋼材料,，整體使用無縫焊接（避免拼接導(dǎo)致HMDS液體腐蝕外泄對人體的傷害）

HMDS涂膠機(jī)（無塵干燥箱）產(chǎn)品參數(shù)：
●內(nèi)膽尺寸：650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;
●載物托架：2塊
●室溫+10℃-250℃控溫范圍：溫度分辨率：0.1℃溫度波動(dòng)度：±0.5℃
●真空泵：油泵或無油真空泵。真空度：133pa,，
●加熱方式：腔體下部及兩側(cè)加溫,。加熱器為外置加熱板（防止一側(cè)加熱使的HMDS液進(jìn)入箱體內(nèi)不能完本轉(zhuǎn)成氣態(tài)）
●可放2寸晶圓片或4寸晶圓片；6寸晶圓片,；8寸晶圓片等,。
●開箱溫度可以由user自行設(shè)定來降低process時(shí)間（正常工藝在50分鐘-120分鐘（按產(chǎn)品所需而定烘烤時(shí)間），為正常工作周期不含降溫時(shí)間（因降溫時(shí)間為常規(guī)降溫）,；

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