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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 儀器種類 | 精密烘箱 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),地礦,冶金,制藥 |
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性：
HS40在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,，涂膠工藝也顯得尤為重要,。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,，尤其是正膠，顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處,，容易造成漂條,、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,，同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕,。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況
HMDS預(yù)處理潔凈干燥箱（無(wú)塵烘箱）產(chǎn)品特點(diǎn)：
1、機(jī)外殼采用冷軋板烤漆處理,，內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成,；加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周，內(nèi)膽內(nèi)無(wú)任何電氣配件及易燃易爆裝置,。鋼化,、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。
2,、箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內(nèi)高真空度,。
3,、微電腦智能控溫儀，具有設(shè)定,，測(cè)定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能,，控溫精確，可靠,。
4,、智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序，溫度,，真空度及每一程序時(shí)間,。
5、HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì)，真空箱密封性能佳,，確保HMDS氣體無(wú)外漏顧慮,。
6、整個(gè)系統(tǒng)采用材料制造,，無(wú)發(fā)塵材料,，適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境。
HMDS預(yù)處理潔凈干燥箱（無(wú)塵烘箱）產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)：
電源電壓：AC220V±10%/50Hz±2%
輸入功率：3000W
控溫范圍：室溫+10℃-250℃
溫度分辨率：0.1℃
溫度波動(dòng)度：±0.5℃
達(dá)到真空度：133Pa
容積：90L
工作室尺寸（mm）：450*450*450
外形尺寸（mm）：615*615*900
載物托架：2塊
時(shí)間單位：分鐘
通過(guò)對(duì)烘箱預(yù)處理過(guò)程的工作溫度,、處理時(shí)間,、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS的工作溫度,、處理時(shí)間
