產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,包裝/造紙/印刷,紡織/印染 |
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機(jī)臺(tái)型號(hào):PM13A
整機(jī)規(guī)格:1900mm(W)×1300mm(D)×1900mm(H)
電極規(guī)格:13層平板式電極板(870mm×610mm)
電源系統(tǒng):10KW等離子體發(fā)生源(40KHz,,可選13.56MHz)
控制系統(tǒng):PC工控系統(tǒng)+PLC自動(dòng)控制
進(jìn)氣系統(tǒng):2—5路工作氣體可選:Ar2,、N2、H2,、CF4,、O2