GV400愛德華干式泵干式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉子，在轉子間維持微小的間隙，使得真空泵浦運轉時腔體內無需潤滑,，因而無油氣回漏污染的問題,。透過轉子線形良好的密封效果，壓力可達7.5×10-3Torr,。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短,，粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強，加上轉子表面披覆特殊材質的鍍膜,，因此可適用于PECVD,、Etching等嚴苛制程。東莞鑰大真空設備有限公司提供Pfeiffer普發(fā),、Leybold萊寶,、adixen阿爾卡特、Edwards愛德華,、Varia瓦里安,、ULVAC愛發(fā)科等進口品牌的真空泵 螺桿泵維修保養(yǎng)服務

GV400愛德華干泵維修流程

（1）擦凈零件，疏通油孔 ,。

（2）把旋片及彈簧裝入高級轉子槽內后,，把高級轉子裝入泵身內，裝上高級泵蓋,、肖,、螺釘、鍵,、軸套等,，用手旋轉，應無滯阻和明顯輕重,。

（3）低級轉子裝配同上,。

（4）裝止回閥葉輪部件，應使止回閥平面對準進油咀孔二用于輕輕擋住葉輪并旋轉轉子,，油孔應時開時閉,，調整閥頭平面開啟高度為0. 8-1. 1mm。

（5）裝上泵部的排氣閥,、擋油板等零件,。

（6）把泵部件、鍵,、軸套,、電機裝在支座上。

（7）裝油箱,。

（8）插入進氣咀,、氣鎮(zhèn)閥,、裝上壓板，螺釘緊固,。

注意：

（1）裝配時,，各摩擦面應涂上清潔的真空泵油。

（2）記住零件的原裝配位置,，可減少跑合時間,。

（3）緊固體應無松動，緊固時應均勻施力,。

（4）對磨損零件應檢查,，并酌情修理或調換。

（5）總裝結束后,，可以從泵進氣口加入少量泵油,，然后用手轉動，轉動時,，手的感覺應是阻力均勻,，無明顯阻滯現(xiàn)象。

我們將按GV400愛德華干泵維修流程,，為客戶保證維修之設備的質量