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氦質譜檢漏儀故障處理：分子泵不工作

(1)儀器界面上TMP(分子泵的運轉頻率)顯示“0”即分子泵沒有工作。有可能是前級壓力過高(該分子泵的啟動壓力為200Pa)導致分子泵無法啟動,。

檢查導致壓力過高的項目有：真空規(guī)管是否有問題,，分子泵出口是否打開，機械泵油是否太臟或機械泵是否轉動,，系統(tǒng)是否有泄漏,。也有可能是分子泵的葉片或轉子被損害，可自行用工具撥動葉片,，判斷其能否轉動,。(2)分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險絲燒斷,，更換保險絲或檢查是否有短路現(xiàn)象,。

(3)分子泵故障燈亮。檢查電路板設置開關是否處于R位置,，此時應該在N位置,。檢查風扇是否停止，如風扇正常,，則可能為分子泵電源故障,，請與廠家聯(lián)系。

質譜室無法正常啟動

燈絲無法正常啟動,，在確認機械泵,、分子泵處于正常工作狀態(tài)后，若燈絲仍無法發(fā)射離子流,，則需要更換離子源,。若燈絲指示燈閃爍，檢查離子源航空插座與接線柱是否開路,，若開路,，需要更換燈絲，若不開路,，檢查其接線柱與其他接頭是否導通,，消除短路現(xiàn)象。

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