EDWARDS愛德華EH250羅茨泵卡死維修.愛德華EH250羅茨真空泵主要是指具有一對同步,、高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子的真空泵,,但是對于其來說不可以單獨抽氣,前級還是需配油封,、水環(huán)等可直排大氣,。其的泵內(nèi)裝有兩個向相反方向同步運轉(zhuǎn)的葉形轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子間,、轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁間有細小空隙而互不接觸的一種變?nèi)菔秸婵毡谩?/span>常見故障有,;異響,漏油,、壓力不足,。
產(chǎn)品用途:
廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、微電子,、光電半導體,、太陽能、冶煉,、封裝測試、真空含浸,、等離子清洗等行業(yè)
產(chǎn)品特點:
1,、啟動快,耗功少,,運轉(zhuǎn)維護費用低,,抽速大、效率高,;
2,、被抽氣體中所含的少量水蒸汽和灰塵不敏感,,在100~1帕壓力范圍內(nèi)有較大抽氣速率,能迅速排除突然放出的氣體,;
3,、泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑,可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染,;
4,、泵腔內(nèi)無壓縮,無排氣閥,。結(jié)構(gòu)簡單,、緊湊,對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感,;
5,、轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性,故振動小,,運轉(zhuǎn)平穩(wěn),。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙
6、不用潤滑,,摩擦損失小,,可大大降低驅(qū)動功率,從而可實現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速,;
適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下,、需要超過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應(yīng)用場合。
它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性,。
EH 泵具有高質(zhì)量的無油泵送機械裝置,。這可提供:
安靜的無振動運行。牢靠且防腐蝕,。良好的軸封技術(shù),,處理艙中不會出現(xiàn)油污染,、防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造
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