湖北武漢IH600愛德華螺桿泵維修,，半導體真空泵維修保養(yǎng)。Edwards IH600系列干泵在環(huán)境（顆粒,，腐蝕物）下有著高可靠性,，例如PECVD，LPCVD中,。IH600工作在大氣壓和極限壓力之間,，無需潤滑，這樣就確保了油不會被反抽到系統(tǒng)中,。IH600系統(tǒng)有一個HCDP80干泵,；HCMB-600干泵。IH600系統(tǒng)適用于無風冷電機的潔凈環(huán)境中,。IH600干泵系統(tǒng)還擁有運送清潔氣體進入HCDP泵的氣體系統(tǒng),，適用于制程物嚴重的工藝中,。使用在較低要求的工藝下可共同改變氣體排放模式改變N2消耗量。通過顯示終端可手動控制真空系統(tǒng),。另外,，可以通過接口模塊或即時通訊模塊或IH單設(shè)備監(jiān)控器使用其他控制設(shè)備去操作IH干泵系統(tǒng)。 半導體晶圓廠的應(yīng)用包括： LOADLOC 傳送 測量 光刻 物理氣相沉積工藝 物理氣相沉積預清潔 快速熱退火 去膠 蝕刻 高密度等離子化學氣相沉積 高密度等離子體化學氣相沉積快速熱處理 大氣化學氣相沉積sacvd 鎢化學氣相沉積

等離子體增強化學氣相沉積 低壓化學氣相淀積,。

規(guī)格參數(shù)：

Edwards  IH600

項     目 參     數(shù)

Inlet Connection ISO 100

Outlet Connection NW40

Peak Speed 518 m3h1

8635 1min-1

305 CFM

Ultimate Vacuum 2 x 10-3 mbar

1.5 x 10-3 Torr

Power bbbbb at vacuum 3.1 kW

Rated Motor Power 5.1 kW

Weight 913 kg/lbs.

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