X射線熒光光譜儀（X-ray Fluorescence Spectrometer,，簡稱：XRF光譜儀），是一種快速的,、非破壞式的物質(zhì)測量方法,。
X射線熒光的物理原理
當材料暴露在短波長X光檢查，或伽馬射線,，其組成原子可能發(fā)生電離,，如果原子是暴露于輻射與能源大于它的電離勢，足以驅(qū)逐內(nèi)層軌道的電子,，然而這使原子的電子結(jié)構(gòu)不穩(wěn)定,，在外軌道的電子會“回補”進入低軌道，以填補遺留下來的洞,。在“回補”的過程會釋出多余的能源,，光子能量是相等兩個軌道的能量差異的。因此,，物質(zhì)放射出的輻射,，這是原子的能量特性。
XRF用X光或其他激發(fā)源照射待分析樣品,，樣品中的元素之內(nèi)層電子被擊出后,，造成核外電子的躍遷,，在被激發(fā)的電子返回基態(tài)的時候，會放射出特征X光,；不同的元素會放射出各自的特征X光,，具有不同的能量或波長特性。檢測器(Detector)接受這些X光,，儀器軟件系統(tǒng)將其轉(zhuǎn)為對應(yīng)的信號。這一現(xiàn)象廣泛用于元素分析和化學分析,，特別是在研究金屬,，玻璃，陶瓷和建筑材料,，以及在地球化學研究,、法醫(yī)學、電子產(chǎn)品進料品管（EURoHS）和考古學等領(lǐng)域,，在某種程度上與原子吸收光譜儀互補,，減少工廠附設(shè)的品管實驗室之分析人力投入。
X熒光光譜儀（XRF）由激發(fā)源（X射線管）和探測系統(tǒng)構(gòu)成,。X射線管產(chǎn)生入射X射線（一次X射線）,，激發(fā)被測樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線,，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性,。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量。然后,，儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量,。
近年來，X熒光光譜分析在各行業(yè)應(yīng)用范圍不斷拓展,，已成為一種廣泛應(yīng)用于冶金,、地質(zhì)、有色,、建材,、商檢、環(huán)保,、衛(wèi)生等各個領(lǐng)域,，特別是在RoHS檢測領(lǐng)域應(yīng)用得多也廣泛。
大多數(shù)分析元素均可用其進行分析,，可分析固體,、粉末、熔珠,、液體等樣品,，分析范圍為Be到U,。并且具有分析速度快、測量范圍寬,、干擾小的特點,。
透射測定
光譜儀的透射率或它的效率可用輔助單色儀裝置來測定。在可見和近紫外實現(xiàn)這些測量沒有任何困難,。測量通過第一個單色儀的光通量,，緊接著測量通過兩個單色儀的光通量，以這種方式來確定第二個單色儀的透射率,。
絕對測量需要知道單色儀的絕對透射率：對于相對測量,，以各種波長處的相對單位可以測量透射率。真空紫外線的這些測量有相當大的實驗困難,，因此通常使用輔助單色儀,。在各種入射角的情況下分別測量衍射光柵的效率。在許多實驗步驟中已成功地避免了校準上的困難,。
