ZEISS XENOS工業(yè)CT測量機

應用案例

XENOS可在各類要求高測量精度的領域使用——從科研機構的測量實驗室,、航空和航天工業(yè)直至光學工業(yè),。這一測量機的測量精度達到技術極限,，其測量范圍近1立方米,。

ZEISS XENOS工業(yè)CT測量機

創(chuàng)新的機械設計

XENOS采用了全新的機械設計理念,。與標準橋式測量機不同：Y導軌分布于側壁頂部，分離式移動行程軸僅橫梁于Y軸方向移動,，更小及恒定的移動重量——與移動式平臺相比堪稱真正的優(yōu)勢,。更低及恒定的移動重量造就了加速及高速的*統(tǒng)一。

所有軸均采用線性驅動

XENOS的所有軸均采用線性驅動,。其優(yōu)點：高速,、加速極快、定位精度高,、驅動無剪切力影響,。結合超高分辨率光柵尺技術，XENOS的線性驅動可獲得高度穩(wěn)定性及低于100納米的*定位精度,。例如,，測針偏移量越恒定，即可獲得更佳的測量精度,。于測量曲面時更顯見另一優(yōu)勢：測針的移動路徑與預定值越吻合,，即可實現越出色的準性。

虛擬*驅動

XENOS于Y軸向配備雙線性驅動系統(tǒng),，得益于蔡司的*驅動技術可實現優(yōu)異的同步控制,。該技術可據X軸位置*分布驅動力。作為控制系統(tǒng)及算法之*結合,，這是在整個測量范圍內獲得優(yōu)異的測量精度及運動穩(wěn)定性的關鍵因素,。

碳化硅陶瓷

XENOS在與精度密切相關的機器部件上采用創(chuàng)新的碳化硅陶瓷材料。迄今為止,，該材料從未在類似產品或精度的測量機器上得到使用,。與常規(guī)陶瓷相比，碳化硅陶瓷的熱膨脹性降低約50%,，而剛性則可提升30%,，同時減重20%。與鋼材相比,，碳化硅陶瓷重量降低50%而竟仍可獲得兩倍的剛性,。

加強型VAST gold

XENOS采用蔡司VAST gold測量探頭。在研發(fā)過程中,，蔡司在測量精度和測量重復度方面對該探頭進行了優(yōu)化,。XENOS也采用了新型剛性連接。VAST gold探頭可與長度可達800毫米的測針以及重量高達500克的測針配套使用,，包括非對稱型測針,。

優(yōu)化的氣浮軸承

全新強化處理氣浮軸承具有優(yōu)異的穩(wěn)定性及測量精度。

改進的電子設計

通過全新的電子設計，移動線纜對精度影響顯著降低,。計算機輔助精度修正（CAA）法和特殊附加CAA修正技術在獲得高測量精度的過程中扮演著日趨重要的作用,。
 

長度測量誤差E0

0.3 L/1,000 μm

測量范圍