自1968年臺階儀Dektak Ⅰ面世以來,，迄今已有50多年的發(fā)展歷程。通過整合技術，突破創(chuàng)新,，Dektak系列臺階儀已經來到了第十代，目前我們主要有兩種型號:桌面式DektakXT（圖1）,，樣品兼容可到8寸,；另外一款是集成了防震臺一體化的落地式DektakXTL，它的兼容樣品可以達到12寸（圖2）,。布魯克第十代Dektak 產品在過去五十年不斷的技術創(chuàng)新,，得到眾多使用客戶的認可。

圖1                                   圖2

臺階高度重現性低于 4 ?

Dektak XT 是使用single-arch 設計的探針輪廓儀,， single-arch 設計及智能電子器件,，大大改善了設備穩(wěn)定性，進一步提高防震性能,。Dektak XT在測量臺階高度重復性方面具有優(yōu)異的表現,，臺階高度重復性可低于4?。使用 single-arch 結構比原先的懸臂梁設計更加穩(wěn)固,，降低了對不利環(huán)境條件的敏感性,，如聲音和震動噪音。

方便的更換探針技術讓一切變得輕松

對多用戶儀器而言,，能快速輕松更換探針以適應不同應用是必要的,。Dektak臺階儀的轉接頭和探針通過強磁吸附進行連接,，在探針更換工具的配合下，更換探針簡單,、方便,、易操作（圖3）。DektakXT 新的針尖自動校準,，消除任何潛藏的針尖更換/校準隱患,。這一技術讓其他困難并耗時的任務變得輕松且快速。為盡量滿足使用的要求,，Bruker 提供了范圍廣泛的標準和客戶定制探針規(guī)格,，包括用于深溝渠測量的高徑比針尖。

圖3

LVDT:主流的微位移傳感技術廣泛應用于航空航天等領域

作為探針式表面輪廓儀核心的部件—傳感器,，Dektak XT采用LVDT傳感器原理,，即Linear Variable Differential Transformer線性可變差動變壓器（圖4），其優(yōu)勢包括：無摩擦測量,、延長機械壽命,、提高分辨率、零位可重復性,、軸向抑制,、堅固耐用、環(huán)境適應性,、輸入/輸出隔離,。

圖4

帶機械臂的全自動傳片臺階儀

全自動型臺階儀（cassette-to-cassette臺階儀），將Bruker DektakXTL臺階儀系統和機械傳送臂相結合（圖5）,，實現了全自動上下片,，通過圖形識別等功能實現自動準確定位（樣品定位精度在±5微米），自動檢測,，數據自動輸出和上傳,，減少人工成本和人員誤差，可以實現75mm到300mm晶圓檢測全自動化,。為半導體行業(yè)在工藝開發(fā),，質量保證與質量控制應用方面進行了優(yōu)化。

圖5

臺階儀主要用于材料表面的2D,，3D測量,，可以測試臺階高度，表面粗糙度,；同時也適合材料表面溝槽深度的測試,；能夠在微電子，半導體及化合物半導體,，太陽能,、超高亮度發(fā)光二管（LED）,、OLED、ITO,、微流控,、醫(yī)學、材料科學等行業(yè)實現納米級表面形貌測量,。Dektak臺階儀測量薄膜材料可以達到埃級重現性和1nm-1mm的測量范圍,。

圖6

圖7