應(yīng)用領(lǐng)域 | 建材/家具,電子/電池,道路/軌道/船舶,包裝/造紙/印刷,紡織/印染 |
---|
敞開式直線光柵尺設(shè)計用于對測量精度要求*的機(jī)床和系統(tǒng)。
典型應(yīng)用包括:
半導(dǎo)體業(yè)的測量和生產(chǎn)設(shè)備
PCB電路板組裝機(jī)
超高精度機(jī)床
高精度機(jī)床
測量機(jī)和比較儀,測量顯微鏡和其它精密測量設(shè)備
直驅(qū)電機(jī)
![]() |
參考價 | ¥100 |
訂貨量 | 1 |
更新時間:2019-08-15 15:04:14瀏覽次數(shù):668
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,,謝謝!
德國海德漢HEIDENHAIN光柵尺傳感器
光柵尺,,也稱為光柵尺位移傳感器(光柵尺傳感器),,是利用光柵的光學(xué)原理工作的測量反饋裝置。光柵尺經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中,,可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數(shù)字脈沖,具有檢測范圍大,,檢測精度高,響應(yīng)速度快的特點(diǎn)。例如,,在數(shù)控機(jī)床中常用于對刀具和工件的坐標(biāo)進(jìn)行檢測,,來觀察和跟蹤走刀誤差,以起到一個補(bǔ)償?shù)毒叩倪\(yùn)動誤差的作用,。光柵尺按照制造方法和光學(xué)原理的不同,,分為透射光柵和反射光柵
以透射光柵為例,當(dāng)指示光柵上的線紋和標(biāo)尺光柵上的線紋之間形成一個小角度θ,,并且兩個光柵尺刻面相對平行放置時,,在光源的照射下,位于幾乎垂直的柵紋上,,形成明暗相間的條紋,。這種條紋稱為“莫爾條紋” (右圖所示)。嚴(yán)格地說,,莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直,。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度,以W表示,。
莫爾條紋
W=ω /2* sin(θ /2)=ω /θ ,。
莫爾條紋具有以下特征:
(1)莫爾條紋的變化規(guī)律
兩片光柵相對移過一個柵距,莫爾條紋移過一個條紋距離,。由于光的衍射與干涉作用,,莫爾條紋的變化規(guī)律近似正(余)弦函數(shù),變化周期數(shù)與光柵相對位移的柵距數(shù)同步,。
(2)放大作用
在兩光柵柵線夾角較小的情況下,,莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω、柵線角θ之間有下列關(guān)系,。式中,,θ的單位為rad,W的單位為mm,。由于傾角很小,,sinθ很小,則
W=ω /θ
若ω =0.01mm,,θ=0.01rad,,則上式可得W=1,即光柵放大了100倍,。
(3)均化誤差作用
莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成,,例如每毫米100線的光柵,10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋,,這樣?xùn)啪嘀g的相鄰誤差就被平均化了,,消除了由于柵距不均勻,、斷裂等造成的誤差。
海德漢敞開式直線光柵尺是*精度定位或高準(zhǔn)確性運(yùn)動的理想選擇,。為確保光柵尺在整個生命周期中都滿足高精度要求,,海德漢新開發(fā)了全新ASIC信號處理芯片:HSP 1.0。有關(guān)該芯片如何接近*地補(bǔ)償信號變化和恢復(fù)初的信號質(zhì)量,,
如有需要,,詳詢:德國海德漢HEIDENHAIN光柵尺傳感器