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| 應用領域 | 建材/家具,電子/電池,道路/軌道/船舶,包裝/造紙/印刷,紡織/印染 |
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敞開式直線光柵尺設計用于對測量精度要求*的機床和系統(tǒng),。
典型應用包括：
半導體業(yè)的測量和生產(chǎn)設備
PCB電路板組裝機
超高精度機床
高精度機床
測量機和比較儀,，測量顯微鏡和其它精密測量設備
直驅電機
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
德國海德漢HEIDENHAIN光柵尺傳感器
光柵尺,，也稱為光柵尺位移傳感器（光柵尺傳感器），是利用光柵的光學原理工作的測量反饋裝置,。光柵尺經(jīng)常應用于數(shù)控機床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中,，可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數(shù)字脈沖,，具有檢測范圍大,，檢測精度高，響應速度快的特點,。例如,，在數(shù)控機床中常用于對刀具和工件的坐標進行檢測，來觀察和跟蹤走刀誤差,，以起到一個補償?shù)毒叩倪\動誤差的作用,。光柵尺按照制造方法和光學原理的不同，分為透射光柵和反射光柵
工作原理
莫爾條紋
以透射光柵為例,，當指示光柵上的線紋和標尺光柵上的線紋之間形成一個小角度θ,，并且兩個光柵尺刻面相對平行放置時，在光源的照射下,，位于幾乎垂直的柵紋上,，形成明暗相間的條紋。這種條紋稱為“莫爾條紋” (右圖所示),。嚴格地說,，莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度,，以W表示,。
莫爾條紋
W=ω /2* sin（θ /2）=ω /θ 。
莫爾條紋具有以下特征：
(1)莫爾條紋的變化規(guī)律
兩片光柵相對移過一個柵距,，莫爾條紋移過一個條紋距離,。由于光的衍射與干涉作用，莫爾條紋的變化規(guī)律近似正(余)弦函數(shù),，變化周期數(shù)與光柵相對位移的柵距數(shù)同步,。
(2)放大作用
在兩光柵柵線夾角較小的情況下，莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω,、柵線角θ之間有下列關系,。式中，θ的單位為rad,，W的單位為mm,。由于傾角很小，sinθ很小，則
W=ω /θ
若ω =0．01mm,，θ=0.01rad,，則上式可得W=1，即光柵放大了100倍,。
(3)均化誤差作用
莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成,，例如每毫米100線的光柵，10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋,，這樣柵距之間的相鄰誤差就被平均化了,，消除了由于柵距不均勻、斷裂等造成的誤差,。
海德漢敞開式直線光柵尺的全新信號處理ASIC芯片
海德漢敞開式直線光柵尺是*精度定位或高準確性運動的理想選擇,。為確保光柵尺在整個生命周期中都滿足高精度要求，海德漢新開發(fā)了全新ASIC信號處理芯片：HSP 1.0,。有關該芯片如何接近*地補償信號變化和恢復初的信號質量,，
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