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醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,食品,石油,交通 |
VSN?VSNM日本喜開理CKD發(fā)生器
實現(xiàn)高速且穩(wěn)定響應(yīng)性的小型發(fā)生器單元,。
小型、輕量,,尤其實現(xiàn)了高度尺寸的緊湊化,。
【噴嘴直徑】:0.4, 0.5, 0.6?。īL)
【吸入流量】:2~9.5 (L/min(ANR))
行業(yè):半導(dǎo)體制造工序(后工序)
VSN?VSNM日本喜開理CKD發(fā)生器
【小型,、輕量】
適用于安裝空間有限的客戶,。
產(chǎn)品高度緊湊化。
【高速且穩(wěn)定的響應(yīng)性】
主閥采用直動閥,,實現(xiàn)高速且穩(wěn)定的響應(yīng)性,。
(ON/OFF=5㎜/sec以下)
【4種壓力傳感器】
壓力傳感器備有4種模擬輸出類型。
型號 | 名稱 | 噴嘴直徑 | 備注 |
---|
VSN-H | 單品型?高真空?中流量型 | Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6 | |
VSN-E | 單品型?高真空?小流量型 | Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6 | |
VSNM-H | 集成型?高真空?中流量型 | Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6 | |
VSNM-E | 集成型?高真空?小流量型 | Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6 | |
VSNM-Z | 集成型?混合規(guī)格 | - |
VSN?VSNM日本喜開理CKD發(fā)生器注意事項:
■ 請勿強拉或極度彎曲電磁閥及傳感器的導(dǎo)線,。否則會導(dǎo)致斷線及接插件部損壞,。
■ 壓縮空氣中含有大量冷凝水(水、氧化油,、焦油,、異物)。冷凝水會大幅降低產(chǎn)品的性能,,因此請使用后冷卻器,、干燥機進(jìn)行除濕,以提高空氣質(zhì)量,。
■ 請勿使用油霧器。
■ 配管內(nèi)流入銹漬,、異物會導(dǎo)致產(chǎn)品故障,、誤動作及性能降低。請在供氣口的前面安裝5μm以下的過濾器,。此外,,建議在使用前及每隔適當(dāng)?shù)臅r間對配管內(nèi)部進(jìn)行吹氣清洗。
■ 請避免在有腐蝕性氣體,、可燃性氣體的場合使用,。同時,請避免將其作為流體使用,。由于本產(chǎn)品并非防爆結(jié)構(gòu),,存在爆炸起火的可能性。
■ 請勿在會沾染水滴,、油滴,、塵埃等的場所中使用。本產(chǎn)品為非防滴,、防塵結(jié)構(gòu),,因此可能會導(dǎo)致產(chǎn)品破損及性能降低。
■ 本產(chǎn)品的電磁閥導(dǎo)線存在極性,。極性有誤時電磁閥將不動作,。
■ 連接真空(V)口的配管請選擇可確保充足的有效截面積的配管直徑和配管長度,。有效截面積不足時,可能無法充分發(fā)揮吸入流量,、真空破壞空氣流量等產(chǎn)品性能,。
■ 連接供氣(PS、PV)口的配管請選擇可確保充足的有效截面積的配管直徑和配管長度,。有效截面積不足時,,壓縮空氣及真空的供給量不足,可能無法充分發(fā)揮產(chǎn)品性能,。
■ 本產(chǎn)品不附帶真空過濾器,。請務(wù)必同時使用本公司的真空過濾器系列。如不使用真空過濾器,,吸入的塵埃等堆積在產(chǎn)品內(nèi)部,,會導(dǎo)致真空性能降低(發(fā)生器系統(tǒng)適用單元)、電磁閥泄漏及動作不良(發(fā)生器系統(tǒng)適用單元,、真空泵系統(tǒng)適用單元)等問題,。
(推薦真空過濾器:VSFU系列、VSFJ系列)
■ 集成型可同時動作的單元數(shù)受空氣供給量(供氣口尺寸,、配管長度,、減壓閥處理流量等)及發(fā)生器耗氣量(真空特性)等諸多條件的限制。采用通過集成型進(jìn)行同時動作的使用方法時,,請與本公司營業(yè)所協(xié)商,。
■ 集成型真空發(fā)生器中同時存在動作的發(fā)生器和不動作的發(fā)生器時,真空發(fā)生時的排出空氣可能會迂回至不動作的發(fā)生器中,,從真空口中排出,。這種情況下若工件重量較輕,則可能會發(fā)生吹走工件等問題,,因此請勿在會產(chǎn)生影響的條件下使用,。
■ 本產(chǎn)品的電磁閥以連續(xù)運行為主。連續(xù)通電超過15分鐘時,,請控制在10次/天以內(nèi),。此外,連續(xù)通電后請恢復(fù)成常規(guī)運行,。
■ 更換供氣(PS,、PV)口、真空(V)口的圓形接頭時,,請去除密封部的附著物后切實插入定位銷,。
■ 發(fā)生器系統(tǒng)適用單元的消音器濾芯及真空泵系統(tǒng)適用單元(單體)的濾芯附著大量塵埃時,可能會導(dǎo)致產(chǎn)品性能降低。建議適時地對濾芯進(jìn)行清掃和更換,。
產(chǎn)品具體詳見:VSN?VSNM喜開理CKD發(fā)生器