德國(guó)巴魯夫BALLUFF電容式傳感器如下優(yōu)缺點(diǎn)：
1)溫度穩(wěn)定性好
電容式傳感器的電容值一般與電極材料無(wú)關(guān),，這有利于選擇溫度系數(shù)低的材料，又因本身發(fā)熱極小,，影響穩(wěn)定性甚微。而電阻傳感器有銅損,，易發(fā)熱產(chǎn)生零漂,。
2)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單
電容式傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于制造和保證高的精度,，可以做得非常小巧,，以實(shí)現(xiàn)某些特殊的測(cè)量；能工作在高溫,，強(qiáng)輻射及強(qiáng)磁場(chǎng)等惡劣的環(huán)境中,，可以承受很大的溫度變化，承受高壓力,，高沖擊,，過(guò)載等；能測(cè)量超高溫和低壓差,，也能對(duì)帶磁工作進(jìn)行測(cè)量,。
3)動(dòng)態(tài)響應(yīng)好
電容式傳感器由于帶電極板間的靜電引力很小(約幾個(gè)10^(-5)N)，需要的作用能量極小,，又由于它的可動(dòng)部分可以做得很小很薄,，即質(zhì)量很輕，因此其固有頻率很高,，動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間短,，能在幾兆赫茲的頻率下工作，特別適用于動(dòng)態(tài)測(cè)量,。又由于其介質(zhì)損耗小可以用較高頻率供電,，因此系統(tǒng)工作頻率高。它可用于測(cè)量高速變化的參數(shù),。
4)可以非接觸測(cè)量且靈敏度高
可非接觸測(cè)量回轉(zhuǎn)軸的振動(dòng)或偏心率,、小型滾珠軸承的徑向間隙等。當(dāng)采用非接觸測(cè)量時(shí),，電容式傳感器具有平均效應(yīng),，可以減小工件表面粗糙度等對(duì)測(cè)量的影響。
電容式傳感器除了上述的優(yōu)點(diǎn)外,，還因其帶電極板間的靜電引力很小,，所需輸入力和輸入能量極小，因而可測(cè)極低的壓力,、力和很小的加速度,、位移等，可以做得很靈敏,，分辨力高,，能感應(yīng)0.01μm甚至更小的位移,。由于其空氣等介質(zhì)損耗小，采用差動(dòng)結(jié)構(gòu)并接成電橋式時(shí)產(chǎn)生的零殘極小,，因此允許電路進(jìn)行高倍率放大,，使儀器具有很高的靈敏度。
①輸出阻抗高,，負(fù)載能力差,。
無(wú)論何種類型的電容式傳感器，受電極板幾何尺寸的限制,，其電容量都很小,，一般為幾十到幾百皮法(pF)，因此使電容式傳感器的輸出阻抗很高,，可達(dá) ～ Ω,。由于輸出阻抗很高，因而輸出功率小,，負(fù)載能力差,，易受外界干擾影響而產(chǎn)生不穩(wěn)定現(xiàn)象，嚴(yán)重時(shí)甚至無(wú)法工作,。 ②寄生電容影響大,。
電容式傳感器的初始電容量很小，而連接傳感器和電子線路的引線電纜電容,、電子線路的雜散電容以及電容極板與周?chē)鷮?dǎo)體構(gòu)成的電容等寄生電容卻較大,。寄生電容的存在不但降低了測(cè)量靈敏度，而且引起非線性輸出,。由于寄生電容是隨機(jī)變化的．因而使傳感器處于不穩(wěn)定的工作狀態(tài)．影響測(cè)量準(zhǔn)確度,。
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