當前位置：上海韜世實業(yè)發(fā)展有限公司>>CKD>>集成化供氣系統(tǒng)>> IAGD5CKD集成化供氣系統(tǒng)
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 化工,生物產業(yè),能源,電子,綜合 |
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CKD集成化供氣系統(tǒng)
型號： IAGD5
行業(yè)
半導體制造工序（前工序）
化學氣體供給設備用元件
產品特點：【集成單元】
通過緊湊集成標準化部件，構建工藝氣體供氣線,。
實現了可高速置換工藝氣體和惰性氣體的理想流路,。
從設計到裝配、檢查完成后交付,，可減少客戶的工時,。
CKD集成化供氣系統(tǒng)
型號： IAGD5 衍生系列
ckd集成化供氣系統(tǒng)IAGD5
化學液體用氣動閥的新標準。
它是一款支持各種壓力,、溫度和流體條件的端產品,。
它可以統(tǒng)一使用中所有細分的模型,。
行業(yè)
半導體制造過程（預處理）
化學液體供應設備的組件
ckd集成化供氣系統(tǒng)IAGD5
備有最大扭矩22和45N·m兩種尺寸,。
配備 4、194 和 304 個脈沖的編碼器分辨率,，可實現 ±2 秒的重復精度,。
產品可以直接從頂部或底部安裝,，無需拆下蓋子。這顯著減少了工作時間,，尤其是從頂部安裝時?！揪S護方便】
滑塊側面設有可直接從外部供給油脂的油脂供給口。不分解主體,，從一處輸送油脂,，維護導軌和滾珠絲杠。[低塵規(guī)格選項]
提供相當于 2.5 級（ISO14644-1 標準）的清潔度,。通過提供真空端口實現低發(fā)塵。非常適合在清潔環(huán)境中運輸,。
* 有關清潔等級的詳細信息，請參閱產塵特性頁面上的目錄,。[NEW] 添加了低粉塵規(guī)格選項
[NEW] 添加了電機制造商支持
電動執(zhí)行器的無電機規(guī)格,，允許您安裝和控制每個制造商的電機,。
將主體和導軌一體化的外軌系統(tǒng)結構緊湊，剛性高,。主體外側設有供油口，主體頂部可安裝,，安裝維護方便,。
沖程：50~1250mm
最大搬運質量（水平）：110kg[NEW] 添加了低粉塵規(guī)格選項
[NEW] 添加了電機制造商支持
電動執(zhí)行器的無電機規(guī)格，允許您安裝和控制每個制造商的電機,。
將主體和導軌一體化的外軌系統(tǒng)結構緊湊,，剛性高,。主體外側設有供油口,，主體頂部可安裝，安裝維護方便,。
沖程：50~1250mm
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