您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)
| 價格區(qū)間 | 面議 | 儀器類型 | 實驗室型 |
|---|---|---|---|
| 儀器種類 | 紅外輔助設備 | 應用領域 | 化工,石油,電子/電池 |
| 檢測硅片大小 | 12寸 |
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
PIKE紅外光譜硅片分析系統(tǒng)
PIKE技術公司提供了全自動的分析配件半導體晶片,。我們的MappIR和MAP300配件提供了EPI,、BPSG、2-12英寸（50-300毫米）的氧和碳的分析,。MappIR和MAP300的開發(fā)是為了為半導體行業(yè)提供負擔得起的自動化工具,，用于硅片的研究和質量控制。MappIR是開發(fā)用于分析8英寸（200毫米）和更小的半導體晶圓,。MAP300是最初設計的更大版本,，它能夠處理12英寸（300毫米）的晶圓格式。這兩種系統(tǒng)的操作,、電子設備和軟件都是相同的,。
MappIR和MAP300附件安裝在FTIR光譜儀的樣品室中。半導體晶圓由彈簧加載的Delrin固定夾固定,，從不與附件的鋁級接觸,。提供了一個標準尺寸的真空或機械棒的插槽，以方便晶圓處理,。每個晶片由步進電機按照系統(tǒng)操作員預先編程的順序旋轉/或翻,。
完整的硬件和軟件包的自動化,，多位置測量和映射的半導體晶圓8英寸（200毫米）和12英寸（300毫米）的半導體晶片處理?？蛇x的插入物為晶片尺寸從2到12英寸EPI,、BPSG、氧和碳的測定分子光阻和透射采樣,。標準用于消除大氣干擾的可凈化的附件USB控制器接口,。
PIKE紅外光譜硅片分析系統(tǒng)
為了通過紅外測量盡量減少對水蒸氣和二氧化碳的干擾，附件的光路配有吹掃線,，可以用干燥的空氣或氮氣進行吹掃,。晶圓清洗外殼。附件由AutoPRO軟件控制,，該軟件為多點晶圓分析（映射）提供了一個簡單的用戶界面,。多達320個點與8毫米梁和5毫米邊緣排除可以測量一個12英寸的晶圓。軟件提供充足的存在性建立各種實驗,。
AutoPRO軟件包的優(yōu)點圖形化和智能化的用戶界面,，用以設置映射模式晶片尺寸的選擇，紅外光束直徑和邊緣排除操作員可選擇或預的多點映射極坐標和/或笛卡爾坐標選項實時顯示實驗狀態(tài)具有保存和回憶各種實驗模式的能力用于宏/腳本的接口^和^^進口商數(shù)據(jù)的采集和處理工作由光譜儀提供軟件許多FTIR制造商提供專門的軟件包它將附件與光譜儀*集成起來,。如果這樣有一個選項不可用,，AutoPRO可以由光譜儀的程序通過宏。AutoPRO符合Windows當單獨運行時,，它允許控制,，編程和附件的控制。PIKE自動晶片配件兼容大多數(shù)商業(yè)FTIR光譜儀和軟件包,。
