Mitutoyo三豐調(diào)心電動轉(zhuǎn)塔378-713DC

調(diào)心電動轉(zhuǎn)塔

 多可安裝5個物鏡,，轉(zhuǎn)塔的方向可相對于安裝面自由設(shè)置,。

 在VMU-V上安裝的示例 (物鏡為選件)

 貨號 378-713DC 觀察方法 明視場觀察 物鏡安裝孔數(shù) 5(基準(zhǔn)孔1 ,、帶調(diào)心機(jī)構(gòu)孔4) 視場調(diào)節(jié)范圍 ±0.5mm 定位精度(重復(fù)停止精度) 2σ＝3µm 驅(qū)動壽命(耐久性) 100萬個位置 驅(qū)動方式 DC電機(jī) 輸入電源 AC100V～240V 大功耗約10W 外部輸入輸出接口※ RS-232C(用于使用計算機(jī)進(jìn)行外部控制) 附帶電纜長度 3m(連接電動轉(zhuǎn)塔部和控制箱) 外觀尺寸：W×H×D(mm)、重量 主體部分：130×47×186,、約1.8kg 控制箱：108×63×176,、約810g ※連接時請使用【RS-232C 電纜(12AAA807)】

(低倍率側(cè)：2/3型、高倍率側(cè)：1/2型等)

通過與YAG激光(1064nm,、532nm,、355nm、266nm)物鏡組合,，可實現(xiàn)高精度,、高

品質(zhì)加工。

與簡易支架一起使用,，還可作為緊湊型顯微鏡使用,。

　★保護(hù)膜、有機(jī)薄膜等的剝離

　★金,、鋁等金屬配線切割,、下層圖案的外露

　★FPD的各種缺陷修正

　★光掩模修正

　★標(biāo)記、修剪,、圖像形成,、局部退火、劃線

憑借長動作距離設(shè)計的物鏡,，實現(xiàn)優(yōu)異的操作性,。

與定位器、探針臺等組合,。

通過與激光加工裝置組合,，還可支持不良分析→部分修正無縫銜接的系統(tǒng)。

此外,，還提供支持隔著玻璃的,、真空內(nèi)的外觀檢查的系統(tǒng)