FS70L4-TH精密顯微鏡單元Mitutoyo三豐

 精密顯微鏡單元
FS70

 ·帶目鏡觀察部的小巧顯微鏡單元
適用于金屬表面和半導(dǎo)體,、液晶、樹脂等各種觀察對象,。
·適用于使用YAG激光(近紅外,、可見、近紫外、紫外)的微細加工※ ※不保證激光系統(tǒng)產(chǎn)品的性能和安全性,。
半導(dǎo)體電路的切割,、修整、修正,、打標、薄膜(絕緣膜)的去除和加工,、液晶彩色濾光片等的修復(fù)(修正缺陷)等,。
并適合作為半導(dǎo)體故障分析用探針臺的光學(xué)觀察部分。
·適用于紅外光學(xué)系統(tǒng)※
硅類的內(nèi)部觀察,、紅外光譜特征分析等,。※另需紅外光源和紅外攝像機等,。
·推出了適用于明視場,、暗視場、簡易偏光,、微分干涉觀察的機型
·反射照明光學(xué)系統(tǒng)標配帶孔徑光闌科勒照明
·通過采用內(nèi)部轉(zhuǎn)塔和長工作距離物鏡,，確保了在顯微鏡下的高操作性

 標準目鏡規(guī)格
型號FS70Z － FS70ZD FS70L FS70L4
貨號378-165-1 － 請咨詢378-166-1 378-167-1
可變角度
目鏡規(guī)格
型號－ FS70Z-TH FS70ZD-TH FS70L-TH FS70L4-TH
貨號－ 378-165-3 請咨詢378-166-3 378-167-3
觀察成像明視場、簡易偏光,、微分干涉 /正像明視場,、簡易偏光/正像
目鏡(必選件) 10×(視場數(shù)24)、15×(視場數(shù)16),、20×(視場數(shù)12)
鏡筒
三目鏡筒
視場數(shù)24
可調(diào)瞳距西登托夫型,，調(diào)節(jié)范圍：51～76mm
俯角0～20°(僅限-TH)，眼點移動量約114mm
光路
固定式
(目鏡/TV＝50%/50%)
切換式
(目鏡/管徑＝100%/0%：
0%/100%)
固定式
(目鏡/TV＝50%/50%)
切換式
(目鏡/管徑＝100%/0%：0%/100%)
相機接口
卡口部
C-Mount(使用適配器B※1)
使用適配器B進行齊焦調(diào)節(jié)
C-Mount規(guī)格
(齊焦調(diào)節(jié)機構(gòu))
C-Mount規(guī)格
(帶綠色濾光片切換功能) (齊
焦調(diào)節(jié)機構(gòu))
防護濾光片－ 內(nèi)置激光濾光片
成像(鏡筒)透鏡內(nèi)置1～2×(可見校正)變焦
內(nèi)置1×(近紅外～可見～近紫
外校正) 內(nèi)置1×(可見,、紫外校正)
激光接口
光學(xué)系統(tǒng)
－
倍率：1× 波長：
355/532/1064nm 倍率：1× 波長：266/532nm
卡口部分YAG激光振蕩器
可配備(基波,、2次/3次諧波)
YAG激光振蕩器
可配備(2次、4次諧波)
聚焦
部分
粗調(diào)單軸粗微調(diào)(粗調(diào)：3.8mm/圈,，微調(diào)：0.1mm/圈)
移動量50mm,、左右手柄
反射照明光學(xué)系統(tǒng)明視場落射照明(科勒照明、帶孔徑光闌)
照明裝置(選件) 12V100W光纖照明裝置(No.378-700DC)/15V150W光纖照明裝置(176-316DC)均為無級旋鈕調(diào)光式,，
光導(dǎo)長度=1500mm
轉(zhuǎn)塔(必選件) 調(diào)心齊焦手動轉(zhuǎn)塔4孔
/調(diào)心電動轉(zhuǎn)塔5孔
手動轉(zhuǎn)塔4孔
/電動轉(zhuǎn)塔4孔
調(diào)心齊焦手動轉(zhuǎn)塔4孔
/調(diào)心電動轉(zhuǎn)塔5孔
物鏡
(必選件)
觀察用
M Plan Apo
M Plan Apo HR
M Plan Apo SL
G Plan Apo
BD Plan Apo
BD Plan Apo HR
BD Plan Apo SL
M Plan Apo
M Plan Apo HR
M Plan Apo SL
G Plan Apo
激光
加工用
－
M/LCD Plan Apo NIR
M/LCD Plan Apo NUV
※根據(jù)激光振蕩器的使用波長選擇
M Plan UV
鏡筒部大承重※2 約14kg(-TH：約13.2kg) 約13.9kg(-TH：約13.1kg)

 1：選裝,。※2：不包括轉(zhuǎn)塔,、物鏡,、目鏡的重量。
注)使用物鏡M Plan Apo 1×時,，建議搭配使用偏光裝置(No.378-092或378-094),。
注)在FS70L、FS70L4上安裝YAG激光振蕩器使用時，
·請注意激光輸入值和能量密度等,。否則可能會導(dǎo)致光學(xué)系統(tǒng)受損,。
·請確認激光振蕩器的重量。在高速,、高加減速裝置上安裝時請進行咨

M Plan Apo NIR系列等支持紅外區(qū)的物鏡組合,，可在紅外線下實
現(xiàn)可見光下做不到的非破壞性檢查。
★液晶薄膜,、硅基板等的厚度測量
★MEMS內(nèi)部的非破壞評價,、三維安裝評價
★半導(dǎo)體封裝(IC)的內(nèi)部觀察、晶圓鍵合空洞評價傳感器
★紅外分光特性分析

FS70L4-TH精密顯微鏡單元Mitutoyo三豐
通過VMU-LB和固定倍率觀察用相機卡口的
組合,，能夠?qū)ν晃恢靡圆煌堵释瑫r觀
察,。
(低倍率側(cè)：2/3型、高倍率側(cè)：1/2型等)

通過與YAG激光(1064nm,、532nm,、355nm、266nm)物鏡組合,，可實現(xiàn)高精度,、高
品質(zhì)加工。
與簡易支架一起使用,，還可作為緊湊型顯微鏡使用,。
★保護膜、有機薄膜等的剝離
★金,、鋁等金屬配線切割,、下層圖案的外露
★FPD的各種缺陷修正
★光掩模修正
★標記、修剪,、圖像形成,、局部退火、劃線