Mitutoyo三豐M Plan Apo 50x物鏡378-805-3

 明視場用物鏡
M Plan Apo /
M Plan Apo HR
VMU WIDE VMU FS70 MF-U Hyper MF-U

 品 名貨號
數(shù)值孔徑
NA
工作距離
WD(mm)
焦距
f(mm)
分辨力
R(μm)
物鏡單體的 焦深
±D.F.(μm)
實際視場(mm) 重量
ø24目鏡 (g) 1/2型
相機 (縱×橫)
M Plan Apo
M Plan Apo 1× ※1 378-800-3 0.025 11.0 200 11.0 440 24 4.8×6.4 300
M Plan Apo 2× ※2 378-801-6 0.055 34.0 100 5.0 91 12 2.4×3.2 220
M Plan Apo 5× 378-802-6 0.14 34.0 40 2.0 14 4.8 0.96×1.28 230
M Plan Apo 7.5× 378-807-3 0.21 35.0 26.67 1.3 6.2 3.6 0.64×0.85 240
M Plan Apo 10× 378-803-3 0.28 34.0 20 1.0 3.5 2.4 0.48×0.64 240
M Plan Apo 20× 378-804-3 0.42 20.0 10 0.7 1.6 1.2 0.24×0.32 270
M Plan Apo 50× 378-805-3 0.55 13.0 4 0.5 0.9 0.48 0.10×0.13 290
M Plan Apo 100× 378-806-3 0.70 6.0 2 0.4 0.6 0.24 0.05×0.06 320

Mitutoyo三豐顯微鏡單元
Mitutoyo三豐物鏡 紫外、近紫外,、可視,、近紅外

Mitutoyo三豐顯微鏡單元
日本三豐物鏡(紫外、近紫外,、可視,、近紅外)
用于半導(dǎo)體、電子,、液晶相關(guān)等產(chǎn)品的生產(chǎn)
品質(zhì)管理系統(tǒng)、實驗研究裝置使用的光學(xué)系統(tǒng)
外觀檢查系統(tǒng)的嵌入式光學(xué)單元
微生物等運動物體的觀察 等
可安裝數(shù)碼相機,，通過外部顯示器進(jìn)行觀察和拍攝,。
可實現(xiàn)橫向水平、上下顛倒等高自由度的固定方法,。
與簡易支架一起使用,，還可作為緊湊型顯微鏡使用。
★金屬,、樹脂,、印刷面等表面觀察拍攝
★微量流體分析用光學(xué)系統(tǒng)
★以觀察和分析細(xì)胞、微生物等為目的的光學(xué)系統(tǒng)

M Plan Apo NIR系列等支持紅外區(qū)的物鏡組合,，可在紅外線下實
現(xiàn)可見光下做不到的非破壞性檢查,。
★液晶薄膜、硅基板等的厚度測量
★MEMS內(nèi)部的非破壞評價,、三維安裝評價
★半導(dǎo)體封裝(IC)的內(nèi)部觀察,、晶圓鍵合空洞評價傳感器
★紅外分光特性分析

通過VMU-LB和固定倍率觀察用相機卡口的
組合，能夠?qū)ν晃恢靡圆煌堵释瑫r觀
察,。
(低倍率側(cè)：2/3型,、高倍率側(cè)：1/2型等)

通過與YAG激光(1064nm、532nm,、355nm,、266nm)物鏡組合，可實現(xiàn)高精度,、高
品質(zhì)加工,。
與簡易支架一起使用，還可作為緊湊型顯微鏡使用,。
★保護(hù)膜,、有機薄膜等的剝離
★金、鋁等金屬配線切割,、下層圖案的外露
★FPD的各種缺陷修正
★光掩模修正
★標(biāo)記,、修剪、圖像形成、局部退火,、劃線

憑借長動作距離設(shè)計的物鏡,，實現(xiàn)優(yōu)異的操作性。
探針臺等組合,。
通過與激光加工裝置組合,，還可支持不良分析→部分修正無縫銜接的系統(tǒng)。
此外,，還提供支持隔著玻璃的,、真空內(nèi)的外觀檢查的系統(tǒng)