明視場用物鏡
M Plan Apo /
M Plan Apo HR
VMU WIDE VMU FS70 MF-U Hyper MF-U

憑借長動作距離設(shè)計(jì)的物鏡,，實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的操作性。
與定位器,、探針臺等組合,。
通過與激光加工裝置組合,，還可支持不良分析→部分修正無縫銜接的系統(tǒng)。
此外,，還提供支持隔著玻璃的,、真空內(nèi)的外觀檢查的系統(tǒng)

Mitutoyo三豐顯微鏡單元
日本三豐物鏡(紫外、近紫外,、可視,、近紅外)
用于半導(dǎo)體,、電子、液晶相關(guān)等產(chǎn)品的生產(chǎn)
品質(zhì)管理系統(tǒng),、實(shí)驗(yàn)研究裝置使用的光學(xué)系統(tǒng)
外觀檢查系統(tǒng)的嵌入式光學(xué)單元
微生物等運(yùn)動物體的觀察 等
可安裝數(shù)碼相機(jī),，通過外部顯示器進(jìn)行觀察和拍攝。
可實(shí)現(xiàn)橫向水平,、上下顛倒等高自由度的固定方法,。
與簡易支架一起使用，還可作為緊湊型顯微鏡使用,。
★金屬,、樹脂、印刷面等表面觀察拍攝
★微量流體分析用光學(xué)系統(tǒng)
★以觀察和分析細(xì)胞,、微生物等為目的的光學(xué)系統(tǒng)

M Plan Apo NIR系列等支持紅外區(qū)的物鏡組合,，可在紅外線下實(shí)
現(xiàn)可見光下做不到的非破壞性檢查。
★液晶薄膜,、硅基板等的厚度測量
★MEMS內(nèi)部的非破壞評價,、三維安裝評價
★半導(dǎo)體封裝(IC)的內(nèi)部觀察、晶圓鍵合空洞評價傳感器
★紅外分光特性分析

通過VMU-LB和固定倍率觀察用相機(jī)卡口的
組合,，能夠?qū)ν晃恢靡圆煌堵释瑫r觀
察,。
(低倍率側(cè)：2/3型、高倍率側(cè)：1/2型等)

通過與YAG激光(1064nm,、532nm,、355nm、266nm)物鏡組合,，可實(shí)現(xiàn)高精度,、高
品質(zhì)加工。
與簡易支架一起使用,，還可作為緊湊型顯微鏡使用,。
保護(hù)膜、有機(jī)薄膜等的剝離
金,、鋁等金屬配線切割、下層圖案的外露
FPD的各種缺陷修正
光掩模修正
標(biāo)記,、修剪,、圖像形成、局部退火,、劃線

憑借長動作距離設(shè)計(jì)的物鏡,，實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的操作性。
通過與激光加工裝置組合,，還可支持不良分析→部分修正無縫銜接的系統(tǒng),。
此外,，還提供支持隔著玻璃的、真空內(nèi)的外觀檢查的系統(tǒng)

視頻顯微鏡單元
VMU 
大視場視頻顯微鏡單元
WIDE VMU 

精密顯微鏡單元
FS70 
明視場用物鏡
(長工作距離
)
M Plan Apo/M Plan Apo HR 
明視場用物鏡
(超長工作距離
)
M Plan Apo SL 
明視場用物鏡
(玻璃厚度校正)
G Plan Apo
明暗視場物鏡
(長工作距離)
BD Plan Apo/BD Plan Apo HR
明暗視場物鏡
(超長工作距離
)
BD Plan Apo SL
(近紅外區(qū)
)
M Plan Apo NIR/M Plan Apo NIR HR,
M Plan Apo NIR B
明視場用物鏡
(液晶玻璃厚度校正 近紅外區(qū)
)
LCD Plan Apo NIR/LCD Plan Apo NIR HR 
明視場用物鏡
(近紫外區(qū)
)
M Plan Apo NUV/M Plan Apo NUV HR 
明視場用物鏡
(液晶玻璃厚度校正 近紫外區(qū)

LCD Plan Apo NUV/LCD Plan Apo NUV HR
明視場用物鏡
(紫外區(qū)
)
M Plan UV 
明視場用物鏡
(液晶紫外區(qū)
)
LCD Plan UV
成像
(鏡筒
)透鏡
MT 
測量顯微鏡用物鏡
ML 
定心顯微鏡用物鏡
CF 
大視場目鏡
/分劃板
WF/UWF
各種顯微鏡選件
支架,、工作臺,、照明裝置 
外形尺寸
(VMU/WIDE VMU/FS70