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當鉑絲加熱到800～900℃時會產(chǎn)生正離子發(fā)射,，在鹵素氣氛中這種正離子發(fā)射將急劇增加，這就是“鹵素效應”,。利用此效應制成的凍干機檢漏儀稱為凍干機鹵素檢漏儀,。

    凍干機鹵素檢漏儀由鹵素檢漏傳感器和測量電路兩部分組成,。檢漏傳感器是一個二極管，管內(nèi)的內(nèi)筒,、外筒及加熱絲均由鉑制成,。內(nèi)筒被熱絲加熱后發(fā)射正離子，外筒收集正離子,，離子流的大小經(jīng)放大后由微安計（μA）指示,。同時輔以音響及紅色燈光作為泄露報警。加熱電源可用直流或交流,。

    根據(jù)使用條件,，凍干機鹵素檢漏儀可按真空法或加壓法來進行工作。前者,，先將傳感器與被檢測的凍干機真空系統(tǒng)相連接，并將凍干機的系統(tǒng)抽真空使壓力達到10～10-1Pa,，再用示漏的鹵素氣體噴在凍干機有漏孔的可疑處,，一旦有漏孔，示漏氣體就會侵入漏孔進入傳感器中,。后者是先向被檢測的凍干機真空系統(tǒng)內(nèi)充入高于一個大氣壓的示漏鹵素氣體,，然后用傳感器的探頭在被檢測系統(tǒng)的外面對可疑處進行探測，一旦檢測到示漏氣體逸出部位,，即為有漏孔的部位,。

    傳感器的探頭通常做成吸槍形，即在傳感器前裝一條吸管,，在傳感器后面裝吸氣風扇,，以提高檢漏效果。示漏氣體可采用四氯化碳,、三氯乙烯或氟利昂等鹵素氣體,。其中以氟利昂12（R12）效果更好。