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應用領域	電子,航天,汽車,電氣

ES640充電器件模型（CDM）測試系統(tǒng)介紹：

1.描述

充電器件模型（CDM）靜電放電是微電子電路故障的常見原因,。較低電壓下的CDM放電會嚴重損壞或損毀靈敏設備。當帶靜電的設備以不同的電位接觸金屬表面時,，通常會發(fā)生這種情況,。這種靜電放電通常具有非常快的上升時間,。

ES640是一款自動化的CDM測試儀,，可滿足所有流行的CDM測試方法，支持場感應空氣放電方法（FICDM）和接觸放電（LI-CCDM,、CC-TLP,、RP-CCDM）方法。本測試系統(tǒng)包含計算機,、環(huán)境控制室,、精確的XYZ運動控制系統(tǒng)、不同類型的CDM測試儀頭以及自動測試和數據分析軟件,。

以下是ESDEMC ES640 CDM解決方案與其他解決方案的比較,，包括Thermo Scientific Orion3 CDM測試儀、Hanwa HED-C5000R等,。

2.特點

高分辨率攝像頭（可多達3個）可輕松進行引腳對齊操作

高分辨率運動控制系統(tǒng)（步長低至1µm）

允許批量測試多個設備

正在申請的CCDM方法具有更好的可重復性

密閉的環(huán)境室提高了干燥單元的效率

支持再生干燥單元（無需氮氣）

3.應用

用于封裝和晶圓級測試的通用CDM系統(tǒng)

支持許多流行的最新CDM方法：

ANSI/ESDA/JEDEC JS-002(FICDM)

AEC Q100-011 Rev-D (遵循JS-002)

AEC Q101-005 Rev-A (遵循 JS-002)

ANSI/ESD SP5.3.3 (LI-CCDM,，需要vf-TLP)

CC-TLP (待批準的ESDA SP，需要vf-TLP)

我司申請中的RP-CCDM方法

可根據客戶要求提供已停用或定制的解決方案

機器人帶電板模型(CBM）和平板ESD測試可自定義尺寸

4.規(guī)格

參數	ES640-150	ES640-300	單位	備注
最大XY測試面積	≥150X150	≥300X300	mm	探針移動面積,，可定制
最大DUT面積	160X160	375X425	mm
充電板面積	210X210	395X470	mm
Z行程	≥50	≥150	mm
最小X, Y, Z步長	100		nm
復位重復能力	≤±6		μm
測試電壓范圍	±1至2000或4000		V	默認2000V,，可定制
測試電壓階躍	1		V
測試電壓精度	±1%±0.1V		%V
XY視野分辨率	1920X1080		像素
垂直視野分辨率	2592X1944		像素
運行溫度	10至40		°C
運行濕度(RH)	10至80		%
電壓	120-240VAC，50/60Hz		VAC
N2或CDA壓強	10–120		PSI
N2或CDA峰值用量	0.2		cfm	或0.34m3h
300 N2箱平均用量	~19		小時	持續(xù)的@40RH環(huán)境
干燥劑平均用量	~24		小時	持續(xù)的@40RH環(huán)境

5.訂購信息

編號	型號	描述
ES640帶電器件模型（CDM）測試系統(tǒng)
1.1	ES640-150	通用CDM平臺,，150X150mm測試區(qū)域,，2kV
1.2	ES640-300	通用CDM平臺，300X300mm測試區(qū)域,，2kV
1.3	ES640-HC	用于空氣放電方法的濕度調節(jié)單元 (用戶可重復使用干燥劑,，比N2或CDA的使用成本更低)
1.4	ES640-CV4	放電電壓從2kV提升到4kV
1.5	ES640-CPC	場板定制，用于固定200X300DUT
1.6	ES640-VP1	用于固定DUT的真空泵 (可選,，軟件控制)
1.7	ES640-VP2	高壓尖部清潔單元(可選,，軟件控制)
ANSI/ESDA/JEDEC JS-002-2018標準相關配置( 包括AEC_Q100-011D,，AEC_Q101-005A在內均遵循此標準)
2.1	ES640-JS002	JS002放電單元
2.2	ES640-JS002-C	JS002/C101校準盤(小盤和大盤)
2.3	ES640-JS002-P1	JS002可替代Pogo Pin #1 (直徑0.35mm)
已停用的AEC標準相關配置(不推薦用于新設計)ES640充電器件模型（CDM）測試系統(tǒng)

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