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應(yīng)用領(lǐng)域	電子,航天,汽車,電氣

ES622系列TLP脈沖IV曲線系統(tǒng)（含HMM,、HBM,、MM外部模塊）介紹：

1.描述

ES622系列TLP脈沖IV曲線系統(tǒng)是一種IV曲線表征系統(tǒng)，旨在高功率時域中模擬ESD事件（TLP/VF-TLP/HMM/HBM/MM脈沖）及監(jiān)控設(shè)備（半導(dǎo)體,、分立器件,、電路模塊等）。ES622相比之前的ES620,，規(guī)格更高,，功能更多，擴(kuò)展能力更強,，軟件體驗更佳,。

傳輸線脈沖(TLP)測試功能旨在滿足新的ANSI/ESD STM5.5.1測試標(biāo)準(zhǔn),，并將高質(zhì)量矩形脈沖應(yīng)用于被測器件并記錄器件兩端的電壓和電流,?？衫L出脈沖IV曲線,，允許用戶在納秒級時間窗口內(nèi)表征器件的瞬態(tài)響應(yīng),。設(shè)備集成了先進(jìn)的自動器件故障檢測方法，例如：直流抽檢（V或I）,、靜態(tài)IV曲線,、熔斷,、擊穿和偏置源波動。

VF-TLP測試旨在模擬CDM速度ESD事件,，并在高速（例如<100ps上升時間）ESD瞬態(tài)下捕獲DUT兩端的電壓和通過 DUT的電流,。這允許用戶研究器件的響應(yīng)速度和峰值鉗位電壓。

人體金屬模型(HMM)測試功能是IEC61000-4-2系統(tǒng)級ESD的替代測試方法,。它為低歐姆設(shè)備提供了理想標(biāo)準(zhǔn)波形的等效波形,，并消除了組件或晶圓級測試的許多IEC槍測試問題，例如可重復(fù)性,、槍尖不精確,、阻抗不匹配、來自非屏蔽繼電器的EMI干擾以及具有大接地平面和耦合平面的特殊裝置等,。

2.特點

可靈活配置的TLP脈沖IV曲線系統(tǒng)

超緊湊的設(shè)計系統(tǒng)

具有多線程處理能力的超快測試速度

提供20A,、40A、50A,、100A,、125A、150A型號（可定制）

可用軟件提供高級系統(tǒng)和附件監(jiān)控和控制（開關(guān)壽命監(jiān)視器,、E-Cal 模塊,、示波器衰減調(diào)整）

測試功能可通過VF-TLP、HMM,、HBM,、MM選項進(jìn)行擴(kuò)展

多種故障自動檢測方式（直流抽檢（V或I）或IV掃描、熔斷,、擊穿和偏置電流變化）

軟件控制脈沖：突發(fā),、連續(xù)、IV曲線表征

上升時間選項從40ps到1200ns（取決于型號,，可定制）

脈沖寬度選項從1ns到2000ns（取決于型號,，可定制）

注意：EOS系列支持更長的脈沖應(yīng)用，脈沖寬度從幾百ns到幾ms

3.應(yīng)用

ESD性能表征

晶圓/封裝級ESD測試

系統(tǒng)/電路模塊ESD測試

安全操作區(qū)（SOA）測試

充電恢復(fù)時間測試

太陽能電池板二極管特性

觸摸屏ITO微帶線熔斷和擊穿測試

相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)：

TLP/VF-TLP選項符合ANSI/ESD STM 5.5.1標(biāo)準(zhǔn)

HMM選項符合ANSI/ESD SP5.6標(biāo)準(zhǔn)

HBM選項符合ANSI/ESDA/JEDEC JS-001標(biāo)準(zhǔn)

MM選項符合ANSI/ESDA SP5.2標(biāo)準(zhǔn)

4.規(guī)格

ES622系列TLP單元規(guī)格表

參數(shù)	ES622-20	ES622-50	ES622-100	ES622-125	ES622-150	單位	可根據(jù)要求提供特殊型號,，例如 40,、100,、200+ A
開路輸出電壓	±0.5~1000	±0.5~2500	±0.5~5000	±0.5~6250	±0.5~7500	V
開路最小電壓步長	0.1	0.1	0.1	0.1	0.1	V
短路輸出電流	±0.01~20	± 0.01~50	±0.01~100	±0.01~125	±0.01~150	A
電壓精度	精度可在1–10 %之間調(diào)節(jié)					%	速度/精度軟件可調(diào)
最快上升時間* （默認(rèn)20-80%）	≤50	≤200	≤300	≤300	≤300	ps	特殊配置可提供10-90%最快至40 ps 的上升時間
上升時間范圍	0.05~1200	0.2~1200	0.3~1200	0.3~1200	0.3~1200	ns
上升時間選項	無限的可編程或手動選項						可定制
脈寬（默認(rèn)50-50%）	100±1					ns	默認(rèn)
最小脈寬	0.5	1	5	5	5	ns
最大脈寬	2000	2000	1500	1500	1000	ns
脈寬選項	無限的可編程或手動選項						可定制
測試速度	通常0.2~2					s	因硬件設(shè)置而異
尺寸	347WX300DX145H					mm	可能因定制而改變
重量	8	8	8	10	12	kg
支持的示波器	Tektronix，Agilent,，LeCroy,，Rigol的主要系列						其他可根據(jù)要求支持
支持的SMU	Keithley 24xx/26xx系列SMU						其他可根據(jù)要求支持

ES62X-HMM2外置人體金屬模型模塊（短路DUT，符合ANSI/ESD SP5.6的100Ω HMM）

參數(shù)	ES620-25	ES620-50	ES622-100	ES620-125	ES620-150	單位	備注
IEC等效等級	6	12	24	30	36	kV
HMM 峰值電流	22.5	45	90	112.5	135	A	3.75A每1kV≤±10% IEC 61000-4-2 (R=330?, C=150pF)
HMM 電流 @ 30ns	12	24	48	60	72	A	≤±10% (優(yōu)于±30%IEC)
HMM 電流 @ 60ns	6	12	24	30	36	A	≤±10% (優(yōu)于±30%IEC)

ES62X-HBM2外置人體模型模塊(ANSI/ESDA/JEDEC JS-001 R=1.5k?, C=100pF)

參數(shù)	ES620-25	ES620-50	ES622-100	ES620-125	ES620-150	單位	備注
最大 HBM測試等級	±2	±4	±8	±10	±12	kV
最小HBM 測試等級		± 50				V
最小測試步長		1				V	通過USB,，用PCB控制
電荷泄放電阻		10K				Ohm
電壓輸出靈敏度		1/201				V/V	注入50 Ohm時誤差小于± 3%
電流傳感器靈敏度		1				V/A	注入50 Ohm時誤差小于± 3%
測試速度		>=1				S	根據(jù)標(biāo)準(zhǔn),，最大1P/s
物理尺寸		90X90X130				mm

5.訂購信息

編號	部件型號	描述
TLP IV曲線系統(tǒng)基礎(chǔ)配置
1.1	ES622-20	ES622 TLP脈 IV曲線系統(tǒng)，20A基礎(chǔ)單元
1.2	ES622-25	ES622 TLP脈沖IV曲線系統(tǒng),，25A基礎(chǔ)單元
1.3	ES622-40	ES622 TLP脈沖IV曲線系統(tǒng),，40A基礎(chǔ)單元
1.4	ES622-50	ES622 TLP脈沖IV曲線系統(tǒng)，50A基礎(chǔ)單元
1.5	ES622-100	ES622 TLP脈沖IV曲線系統(tǒng),，100A基礎(chǔ)單元
1.6	ES622-125	ES622 TLP脈沖IV曲線系統(tǒng),，125A基礎(chǔ)單元
1.7	ES622-150	ES622 TLP脈沖IV曲線系統(tǒng)，150A基礎(chǔ)單元
上升時間選項 (僅作為案例配置展示,，可供定制)
2.1	ES62x-PRT4	可編程的4個脈沖上升時間過濾器模塊 (默認(rèn): 內(nèi)置1ns,、5ns、10ns可定制)
2.2	ES62x-PRT10	可編程的10個脈沖上升時間過濾器模塊 (默認(rèn): 內(nèi)置0.5ns,、1ns,、2ns、5ns,、10ns,、20ns可定制)
2.3	ES62x-ERTF	手動外部上升時間過濾器
脈寬選項(僅作為案例配置展示，可供定制)
3.1	ES620-PPL4	可編程的4個內(nèi)置脈寬模塊
3.2	ES620-PPL10	可編程的10個內(nèi)置脈寬模塊
3.3	ES620-MPLEx	手動脈寬外部變動選項
外置脈沖模塊選項
4.1	ES62X-HBM2	人體模型 (HBM) ESD脈沖模塊及測試設(shè)置選項 (ANSI/ESDA/JEDEC JS-001脈沖測試及IV測量)
4.2	ES62X-HMM2	人體金屬模型(HMM) ESD脈沖模塊及測試設(shè)置選項 (IEC61000-4-2脈沖測試及IV測量)
4.3	ES62X-MM2	機(jī)器模型(MM) ESD脈沖模塊及測試設(shè)置選項 (ANSI/ESDA SP5.2脈沖測試及IV測量)
漏電或直流IV測量選項
5.1	ES62X-SSM	系統(tǒng)開關(guān)模塊(在脈沖及直流測試間切換)
5.2	ES62X-STP1	SMU 瞬態(tài)保護(hù)器
直流偏置測量選項
6.1	BT-100V2A6G	TLP測試偏置三通,，10kHz – 6GHz,，100V，2A DC/10A脈沖電流
6.2	BT-100V4A3G	TLP測試偏置三通,，10kHz – 3GHz,，100V，4A DC/20A脈沖電流
6.3	BT-450V2A5G	TLP測試偏置三通,，10kHz – 5GHz,，450V，2A DC/10A脈沖電流
ESD 注入及IV曲線測量選項
7.1	ES62X-PSTT	用于封裝級標(biāo)準(zhǔn)TLP測試的TDR-O測試裝置
7.2	ES62X-PVFTT	用于封裝級VF-TLP測試的TDR-S測試裝置
7.3	ES62X-CMPS	簡易式手動探針臺,，配有可靈活移動的真空泵和顯微鏡
7.4	ES62X-WSTT	用于晶圓級標(biāo)準(zhǔn)TLP測試的TDR-O測試裝置,，含探針座
7.5	ES62X-WVFTT	用于晶圓級VF-TLP測試的TDR-S測試裝置，含探針座
與TLP系統(tǒng)匹配的示波器
8.1	MISC-OSC1	數(shù)字示波器( 1GHz,，5Gs,，4通道，推薦用于標(biāo)準(zhǔn)TLP測試)
8.2	MISC-OSC6	數(shù)字示波器( 6GHz,，5Gs,，4通道,，推薦用于VF-TLP測試)