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激光干涉儀的測(cè)量精度于哪些因素有關(guān)?
閱讀：3333 發(fā)布時(shí)間：2020-4-26
激光干涉儀通常采取邁克爾遜干涉儀形式,，由于反射器的作用,，直接接收的脈沖當(dāng)量為λ/2(約0.3μm)，對(duì)于精密測(cè)量來(lái)說(shuō),，顯然是不夠的,。
激光干涉儀的發(fā)展歷史：
1960年Maiman研制成功第1臺(tái)紅寶石激光器，從此開(kāi)始了光學(xué)技術(shù)飛速發(fā)展的新時(shí)代,。從此,，激光干涉測(cè)量被廣泛地用于長(zhǎng)度、角度,、微觀形貌,、轉(zhuǎn)速、光譜等領(lǐng)域,，并和微電子技術(shù),、計(jì)算機(jī)技術(shù)集成，成為現(xiàn)代干涉儀,。
1982年Binning和Rohrer研制成功掃描隧道顯微鏡,，1986年發(fā)明原子力顯微鏡，1986年獲得諾貝爾獎(jiǎng),。從此開(kāi)始了干涉儀向納米,、亞納米分辨率和精度前進(jìn)的新時(shí)代。
由于激光具有*的時(shí)間相干性,，自問(wèn)世以來(lái),，已研制出多種激光干涉儀：?jiǎn)晤l激光干涉儀、雙頻激光干涉儀,、半導(dǎo)體激光干涉儀,、X射線(xiàn)干涉儀等。
激光干涉儀是激光在計(jì)量領(lǐng)域中成功的應(yīng)用之一,。利用光的干涉實(shí)現(xiàn)測(cè)量,，具有非接觸、無(wú)損檢測(cè)的特點(diǎn),，已經(jīng)在各個(gè)不同領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用,。
激光干涉儀的測(cè)量精度于哪些因素有關(guān)?
激光干涉儀在實(shí)際使用中,，需要確認(rèn)其在各個(gè)測(cè)量應(yīng)用中能夠達(dá)到的真實(shí)精度水平以確保測(cè)量數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠。激光干涉儀的測(cè)量讀數(shù)終均與激光波長(zhǎng)有關(guān),，因此激光器頻率的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性是激光干涉儀測(cè)量精度的保障,。此外，激光干涉儀的環(huán)境條件補(bǔ)償系統(tǒng)(壓力,、溫濕度傳感器)的讀數(shù)準(zhǔn)確性對(duì)終的測(cè)量精度有著重要的影響,。
總結(jié)起來(lái)，影響激光干涉儀測(cè)量精度的因素包括：
1,、激光器頻率(波長(zhǎng))及頻率穩(wěn)定性,。
2、測(cè)量讀數(shù)軟件系統(tǒng)帶來(lái)的誤差,。
3,、反射鏡、角錐棱角誤差,。
4,、溫濕度、壓力傳感器誤差,。
激光干涉儀的使用注意事項(xiàng)：
1,、激光干涉儀必須定人保管，機(jī)加技術(shù)組人員專(zhuān)人,，專(zhuān)人送檢,，他人不得隨意動(dòng)用，以防損壞,，降低精度,。
2、激光干涉儀要設(shè)置專(zhuān)庫(kù)存放,，環(huán)境要求干燥,、通風(fēng)、防震,、防霧,、防塵、防銹,。儀器應(yīng)保持干燥,。各種儀器均不可受壓、受凍,、受潮或受高溫,，儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。
3,、對(duì)激光干涉儀要小心輕放,，避免強(qiáng)烈的沖擊震動(dòng),，安置儀器前應(yīng)檢查三腳架的牢固性，整個(gè)作業(yè)過(guò)程中工作人員不得離開(kāi)儀器,，防止意外發(fā)生,。
4、激光干涉儀應(yīng)避免在溫度變化大,、有風(fēng),、潮濕環(huán)境下測(cè)量，此時(shí)檢測(cè)結(jié)果將收到很大的影響,。