您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)
您對以下敘述激光干涉儀的工作原理有什么不同看法嗎,？
閱讀：682 發(fā)布時間：2020-4-15
激光干涉儀具有快速,、高準(zhǔn)確測量的優(yōu)點(diǎn)，是校準(zhǔn)數(shù)字機(jī)床,、坐標(biāo)測量機(jī)及其它定位裝置精度及線性指標(biāo)Z常用的標(biāo)準(zhǔn)儀器,，掌握一些激光干涉儀的使用技巧會使測量互作事半功倍。
工作原理：
激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束,，光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡,，這兩道光束再反射回到分光鏡，Z后重新匯聚返回激光干涉儀,。若光程差沒有變化時,，激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時,，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化,。
當(dāng)高壓連接在陽極和陰極之間時,，混合氣體被激發(fā)，形成激光光束,，通過放大激光光強(qiáng)使一些光透射出來成為輸出激光光束,。其中，為實現(xiàn)平衡狀態(tài),，通過加熱器控制激光管長度讓激光穩(wěn)頻的精度保持在±0.05ppm以內(nèi),，此時穩(wěn)定輸出后，激光器即可進(jìn)行干涉測量,。如今大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氖(HeNe)激光管,，這些激光管具有633納米的波長輸出。
激光器的頻率,、功率,、穩(wěn)定性、可靠性,、光束質(zhì)量及壽命等指標(biāo)參數(shù),，都關(guān)系著激光干涉儀的Z終性能。其中激光頻率是激光干涉儀基本的參數(shù),，其頻率(波長)的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性是激光干涉儀測量精度的保證,。
應(yīng)用：
1、位置精度的檢測及其自動補(bǔ)償 可檢測數(shù)控機(jī)床定位精度,、重復(fù)定位精度,、微量位移精度等。
2,、雙軸定位精度的檢測及其自動補(bǔ)償雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機(jī)床,，由雙伺服驅(qū)動某一軸向運(yùn)動的定位精度，而且還能通過RS232接口,，自動對兩軸線性誤差分別進(jìn)行補(bǔ)償,。
3、數(shù)控機(jī)床動態(tài)性能檢測 利用RENISHAW動態(tài)特性測量與評估軟件,，可用激光干涉儀進(jìn)行機(jī)床振動測試與分析（FFT）,，滾珠絲杠的動態(tài)特性分析，伺服驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析,，導(dǎo)軌的動態(tài)特性（低速爬行）分析等。
4,、幾何精度檢測 可用于檢測直線度,、垂直度、俯仰與偏擺,、平面度,、平行度等,。